탁상형 현미경 Miniscope® TM4000PlusIII/TM4000III
「차세대 인재를 위한 Miniscope🄬」 여기에 탄생!
시리즈 누계 5,800대를 돌파한 Miniscope🄬로부터 새로운 라인업이 탄생했습니다.
연구 개발·품질 관리·교육의 최전선에서 활약하시는 여러분에게 새로운 업무 개선이 기대되는 Miniscope🄬입니다.
가격: 문의 바랍니다.
취급 회사: 주식회사 히타치하이테크
TM4000PlusIII/TM4000III의 특징
작업의 생력화・평균화를 실현
다검체 관찰 자동화: 관찰 워크플로우 자동화 지원 기능(TM4000PlusIII)※
스테이지 이동, 배율 변경, 촬영 등의 관찰 순서를 레시피로서 보존할 수 있습니다. 레시피화된 관찰 절차는 한 번의 클릭으로 자동 실행이 가능합니다.
자동 입자 해석의 고속화 실현 : 대전류 기능 + Aztec Live Lite 입자 해석 패키지※
공산품의 세정도 해석이나 필터 포집물의 자동 입자 해석은 측정 포인트가 많아지기 때문에 방대한 분석 시간을 필요로 합니다.
TM4000PlusIII에서는 새로운 대전류 설정이 되는 Mode5를 탑재. 옥스포드 인스트루먼츠사의 EDS AZtec LiveLite 입자 해석 패키지와의 조합으로 입자 해석의 고속화를 도모합니다.
계획적인 장치 운용 지원
계획적인 유지 보수: 필라멘트 인디케이터
필라멘트 교환 시기의 기준을 표시하는 모니터링 가능을 탑재했습니다.
장치 이용자가 여러 명인 경우, 갑작스러운 필라멘트 끊어짐 → 교환의 우려를 경감하여, 계획적으로 장치를 운용하는 것이 가능합니다.
언제든지 장치 상태를 체크: AutoOQ(Auto Operational Qualification)
SEM 본체의 상태를 리포트로 출력하여, 장치 상태의 파악/공유를 지원하는 소프트웨어입니다.
새로운 교육 Tool로서
전처리 없이 전자현미경의 세계를 체험: 저진공 기능 + 고감도 반사전자검출기
꺾어온 화초, 소중히 보관하고 있는 광석, 식품 등… 다양한 샘플로 전자 현미경의 세계를 체험할 수 있습니다.
TM4000PlusIII/TM4000III의 저진공 기능에 의해 전처리 공정을 경감하고, 고감도의 반사 전자 검출기로 빠르게 이미지를 얻을 수 있습니다.
프로그래밍 교육의 출력 장치로서: 관찰 워크플로우 자동화 지원 기능 (TM4000PlusIII)＊
디지털 인재의 육성·확보는 매우 중요한 과제입니다.
자동화 지원 기능에서는 "순차 실행", "반복", "조건 분기"라는 프로그래밍의 중요 개념을 TM4000PlusIII의 동작을 통해서 체험적으로 배울 수 있습니다.
* 옵션
Miniscope🄬의 특징
이미지 관찰까지 3분. 원하는 데이터를 빠르게 취득하여 레포트 작성이 가능.
관찰, 분석의 유연성
다채로운 데이터를 자동으로 취득. 신속한 전환!
신속한 원소 맵*2 취득 가능
*1 TM4000PlusIII의 기능입니다
*2 옵션
Camera Navi*를 사용하면 이렇게나 간단합니다
카메라 내비게이션 화상으로 신속한 시야 확보, MAP 기능으로 관찰 서포트
카메라 내비게이션 시스템
기본 조작은 이렇게나 간단, 스피디
이미지 관찰까지 불과 3분.
원하는 데이터를 빠르게 취득하여 보고서 작성 가능.
Report Creator를 이용한 손쉽게 리포트 작성
화상과 템플릿만 선택하면 Microsoft Word, Excel, PowerPoint 형식의 리포트 완성
절연 물질 시료라도 전처리 없이 그대로 관찰 가능합니다.
대전 현상을 억제하는 “대전 감소 모드”
쉽게 대전이 이루어지는 시료는 “대전 감소 모드”를 이용하여, 대전을 억제해서 관찰할 수 있습니다.
소프트웨어 상에서 마우스 클릭하여 “대전 감소 모드”로 전환할 수 있습니다.
저진공 상태에서 다채로운 관찰이 가능
쉽게 대전이 이루어지는 분말이나 수분 함유 시료 등의 시료도 목적에 맞게 관찰할 수 있습니다.
저진공 상태에서 2차 전자 상(표면 형상) 관찰을 실현합니다.
전처리 없이 절연 물질이나 수분, 유분을 함유한 시료의 표면 관찰을 실현
지금까지의 전도성 시료 관찰뿐 아니라, 절연 물질이나 수분, 유분 함유 시료까지 전처리 없이 그대로 관찰할 수 있습니다. 2차 전자 상⇔반사 전자 상도 빠르게 전환할 수 있습니다.
고감도 저진공 2차 전자 검출기
고감도 저진공 2차 전자 검출기(UVD)를 채용. 전자선과 잔류 가스 분자와의 충돌로 발생한 빛을 검출해 2차 전자 정보를 가진 화상을 관찰할 수 있습니다. 또한 이 검출기를 컨트롤해 전자선 조사로 발생한 빛을 검출하여 CL 정보(UVD-CL: CL 정보를 포함한 화상)을 취득할 수 있습니다.
가속 전압 20 kV 대응
TM4000III/TM4000PlusIII는 가속 전압 20kV에 대응합니다.
EDS 분석(옵션)에 있어서 더욱 높은 계수의 분석이 가능해졌습니다.
가속 전압 20kV로 EDS 매핑의 높은 S/N화
Multi Zigzag(옵션)
넓은 영역에서 SEM 관찰하고 싶다는 요청에 응했습니다.
모터 드라이브 스테이지와 병용해 SEM에서 촬영이 곤란한 저배율 고해상도 광역 관찰을 할 수 있습니다.
이렇게나 간단, EDX분석
매핑 분석
스펙트럼 분석
라인 분석
STEM 홀더(옵션)
간이적인 투과 전자상을 관찰할 수 있습니다.
신개발의 STEM 홀더와 고감도 저진공 2차 전자 검출기(UVD)를 조합해 사용하는 것으로, 간편하게 투과 전자상의 취득이 가능합니다.
박막 시료나 생체 샘플 관찰에 효과적입니다.
* UVD는 TM4000PlusIII의 기능입니다.
가속전압: 20 kV
관찰 신호: (a) STEM상, (b) 반사전자상
배율: 10,000배
가속전압: 20 kV
관찰 신호: (a) STEM상, (b) 반사전자상
배율: 10,000배
가속전압: 15 kV
관찰신호: STEM상
배율: 1,000배
가속전압: 15 kV
관찰신호: STEM상
배율: 1,000배
사양
| 항목 | TM4000PlusIII | TM4000III |
|---|---|---|
| 배율 |
×10～×100,000(사진 배율) ×25～×250,000(모니터 배율) |
|
| 가속전압 | 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV | |
| 화상신호 |
반사전자 2차전자 합성 (반사전자 + 2차전자) |
반사전자 |
| 진공 모드 |
반도체(반사전자만） 표준 대전 경감 |
표준 대전 경감 |
| 시료 가동 범위 | X：40 mm Y：35 mm | |
| 최대 시료 사이즈 | 80 mm(지름) 50 mm(두께) | |
| 전자총 | 프리 센터드 카트리지 필라멘트 | |
| 검출기 |
반사전자: 고감도 4분할 반사전자검출기 2차전자: 고감도 저진공 2차전자 검출기 |
2차전자: 고감도 저진공 2차전자 검출기 |
|
배기계 (진공 펌프) |
터보 분자 펌프: 67L/s 1대 다이어프램 펌프: 20L/min |
|
| 스테이지 | 모터 드라이브 | 매뉴얼 |
| 크기, 질량 | 본체：330(폭)×614(깊이)×547(높이)mm 55 kg | 본체：330(폭)×617(깊이)×547(높이)mm 53 kg |
| 다이어프램 펌프: 144(폭)×270(깊이)×216(높이)mm | ||
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