전계방출형 투과전자현미경 HF5000
공간분해능과 경사, 분석 성능을 조화시킨 200kV 수차보정(correcting spherical aberration) TEM/STEM
0.078 nm의 STEM 공간분해능, 높은 시료경사, 큰 입체각 EDX를 Single pole piece로 실현했습니다. 주사투과전자현미경 [HD-2700]에 탑재된 히타치제작 구면수차 보정기와 자동보정기능, 수차보정 SEM 이미지, Symmetry-dual SDD 등의 특장점은 그대로 유지하며, 투과전자현미경 HF시리즈로 키워온 기술을 집약, 융합시켰습니다.
High-end user를 비롯하여 다양한 유저를 대상으로 sub-Å 레벨의 공간분해능과 고분석 성능을 더욱 다양한 관찰, 분석방법과 함께 제공합니다.
* 2nd 모니터 옵션, 모니터화면은 편집 합성입니다.
특징
- 히타치제작 조사계구면 수차보정기(자동보정기능 포함)를 표준 탑재
- 고휘도, 안정도가 높은 Cold FE 전자총 탑재
- 컬럼, 전원 등 높은 안정화에 의한 본체 성능 향상
- Cs-SEM/STEM상 동시 관찰과 원자분해능 SE상 관찰
- 신형 Side-entry 시료 스테이지 기능, 시료 홀더 탑재
- 대 입체각 EDX* 듀얼 대항배치 (Symmetry-dual SDD*) 에 대응
- 새로운 구조의 본체 enclosure cover 사용
- 각종 히타치제작 고기능 홀더*를 라인업
* 옵션
고휘도 Cold FE전자총 x 높은 안정화 x 히타치제작 구면수차보정기
오랜 기간동안 누적된 고휘도 Cold FE 전자원의 Know-how을 바탕으로 더욱 안정화된 전자총을 개발하였습니다.
또한 sub-Å상관찰에 대응 하도록 컬럼, 전원, 시료 스테이지를 새롭게 하여 기계적, 전기적 안정도를 높여 히타치제작 주사계 구면수차 보정기와 조합시켰습니다.
보다 높은 고휘도에서 미세한 프로브를 더 안정적으로 얻을 수 있을 뿐만 아니라 자동수차 보정기능으로 신속하게 보정이 되어 장치 본래의 성능을 손쉽게 끌어냅니다. 수차보정을 보다 실용적으로 이용하실 수 있습니다.
대 입체각 EDX*의 Symmetry -Dual SDD*에 대응
100mm2 SDD 검출기의 듀얼 배치에 대응하여 더 높은 감도와 throughput으로 EDX원소 분석을 실행할 수 있습니다.
두번째 검출기는 첫번째 검출기와 마주보는 위치에 배치되기 때문에 시료 경사에 의한 X선 총 신호 검출량의 변화가 거의 없습니다. 따라서 결정성 시료라도 신호량에 상관없이 시료 방위에 맞는 상태로 원소 분석이 가능합니다.
또한 전자선에 약한 시료나 X선 방출량이 적은 시료, 원자 컬럼 매핑에도 유효하며, 저배율 광시야에서 정확한 매핑 등이 가능합니다.
Cs-SEM 이미지 / STEM 이미지 동시관찰
이차전자 검출기를 표준탑재하여 Cs-SEM/ STEM 이미지 동시관찰이 가능합니다. 시료표면과 내부구조의 동시 관찰로 3차원적인 시료구조 파악이 가능합니다. Cs-SEM 이미지에서는 구면수차보정에 의한 분해능 향상과 더불어 시료의 고해상도 극표면 이미지를 얻을 수 있습니다.
사양
| 항목 | 내용 | |
|---|---|---|
| 전자원 | W（310）냉음극전계방출형 | |
| 가속전압 | 200 kV、60 kV*1 | |
| Image분해능 | STEM | 0.078 nm(ADF-STEM Image) |
| TEM | 0.102 nm(lattice image) | |
| 배율 | STEM | ×20～×8,000,000 |
| TEM | ×100～×1,500,000 | |
| 시료 미동 | 시료 스테이지 | Eucentric goniometer 5-axis stage |
| 시료 사이즈 | 3 mm Φ | |
| 이동 범위 | X, Y＝±1.0 mm, Z=±0.4 mm | |
| 시료 경사 | α＝±25°、β＝±35°(Hitachi double-tilt specimen holder*1) | |
| 수차보정기 | 히타치제작 조사계 구면수차 보정기(표준탑재) | |
| 화상 표시 | PC | Windows® 7 *2 |
| 모니터 | 27형 와일드 액정 디스플레이（본체 제어 모니터, 2nd모니터*1） | |
| 카메라 | 표준탑재retractable 카메라 스크린 카메라*1（형광판 관찰용） |
|
본체 치수/ 무게
| 항목 | Width×Depth×Height(mm) | Weight（kg） |
|---|---|---|
| 컬럼부（전자총 포함） | 1,060×1,742×2,970 | 1,940 |
| 본체 커버 | 1,678×1,970×3,157 | 429 |
| Console unit | 1,400×819×740 | 132 |
| Console extension*1 | 580×819×740 | 53 |
| FE tank | 1,041×840×1,317 | 482 |
| V0 tank | 398×630×1,046 | 164 |
| 제어 전원 | 1,400×693×816 | 173 |
| 수차보정기 전원 | 606×529×1,096 | 81 |
| 배기계 전원 | 913×663×1,790 | 378 |
| 편향계 전원 | 913×663×1,790 | 394 |
| Weight | 280×130×130 | 23 |
| Gatan controller*1*3 | 576×648×1,173 | 150 |
| 냉각수 제어 unit | 470×540×350 | 25 |
| 냉각수 순환 장치*1*3 | 970×970×1,064 | 95 |
| Dry pump*1 | 252×400×336 | 23 |
| Air compressor*1 | 275×560×576 | 25 |
설치 조건
| 항목 | 내용 | |
|---|---|---|
| 실온 | 15～23°C（온도변화：0.2°C/h이내） | |
| 습도 | 40～60% RH | |
| 전원 | 본체 | Single phase AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA Circuit breaker rating 50 A |
| 냉각수 순환 장치*1*3 | Three phase AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A | |
| 접지 | D-class grounding (ground resistance:100 Ω or less) | |
| 냉각수 | 수량 | 5.1～5.3 L/min 1system、2.0～2.2 L/min 1system （pressure 0.25 MPa） |
| 수온 | 16～18℃（temp. fluctuation: ±0.1®C or less） | |
| 가스 | SF6 | 99.9% or higher、180 k～200 kPa |
| 드라이 질소 | 99.99% or higher、0～100 kPa | |
| 압축 공기 | 600 k～800 kPa | |
구입 전에 설치예정 장소의 진동, 자장, 소음을 측정하여 허용치를 넘는 경우 개별 상담 부탁드립니다.
허용 수치는 별도 문의 부탁드립니다.
*1：옵션 *2：Windows는 미국, 그 외 국가에 등록된 Microsoft Corp.의 등록 상표입니다. *3：사양, 사이즈는 메이커, 모델, 구성에 따라 달라질 수 있습니다.
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