반도체/전지 X-ray 자동검사 설비(AXI)
Description
For R&D 연구용
- 5단계 분해능 조절기능(0.4um / 0.6um / 1um / 2um / 3um)
- 검출기 최대 기울기 : 60°
- 4단 운용 변환타입의 400mm 지름의 스테이지 탑재
- 모니터 확대 배율 : 7400 times
- 기하 배율 : 1200 times
- 2점 거리 측정
- Bonding wire flow rate 값 계산
- Standard void ratio 값 계산 소프트웨어
For Mass Production 양산용
- 4단계 분해능 조절기능(0.6um / 1um / 2um / 3um)
- 수 um 레벨의 마이크로범프의 보이드 및 쇼트 등을 검사
- 8 inches / 12 inches 사이즈의 웨이퍼 호환
- GEM, Load Port Expansion, OHT types 지원
- Scale display function, Auto alignment, Auto focus function 지원
- CLASS 100의 클린룸에 최적
