日立高新拥有自主研发的“真空转移系统”，用于观察分析极容易与大气产生反应的高活性锂离子电池的细微构造。块状样品搭载在专用样品台上可在隔绝空气的状态下，进行离子研磨和SEM观察。搭载在专用样品台上还可以用FIB-SEM加工成薄膜；转移到真空转移样品杆上，用S（TEM）进行观察和分析。真空转移系统，可使样品在不接触大气的条件下，进行多尺度的观察。
超高分辨场发射扫描电子显微镜
这是一种研究及开发用于锂离子二次电池的碳材料及高分子材料时必不可少的超高分辨扫描电子显微镜。应用高辉度冷场FE电子枪及检测信号控制功能，以高分辨率模式提供高对比度图像。
搭载支持光学系统自动调整功能及自动获取数据能力的选配功能，可实现自动获取大量数据。
使用自动获取SEM图像的软件EM Flow Creator，对隔膜进行了自动连续成像。
这次用了3小时36分钟按5千倍、3万倍、8万倍的倍率改变视场，每次分别获取5张共计345张清晰的SEM图像。放大5千倍时可以确认到隔膜的纤维状区域的分布，放大3万倍时能看到隔膜的纤维状结构与小孔交互排列的形态，放大8万倍时能看到隔膜表面的细微结构。
超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜
这是一种研究及开发用于锂离子二次电池的碳材料及高分子材料时必不可少的超高分辨扫描电子显微镜。由于搭载了肖特基FE电子枪，可支持超低加速电压观察乃至需要大照射电流的高速分析等广泛的分析方法。
搭载支持光学系统自动调整功能及自动获取数据能力的选配功能，可实现自动获取大量数据。
这是按10V的照射电压观察到的LIB正极材料的SEM图像。在（a）中可根据形状及对比度，清晰地分辨出活性物质、导电助剂及粘合剂。在放大观察（a）内红框区域的（b）中，可以详细确认到导电助剂与活性物质经粘合剂黏结的形态、活性物质表面上薄层附着的粘合剂残渣。 SU8700采用了静电场和静磁场叠加的物镜，使用此显微镜还能够轻松地进行这种超低加速模式的最表面观察。
离子研磨仪
Arblade 5000是拥有截面研磨和平面研磨功能的日立高新高端的研磨仪。它配备了为评判锂离子电池的正极、负极材料等进行制样所需的所有的功能。真空转移样品台（选配）是为了极易和大气中的氧气和水发生反应而变形的锂离子电池材料研发的。使用该样品台，可使样品在不接触大气的情况下，离子研磨加工后直接进行SEM的观察。配备了冷冻加工功能（选配），来应对锂离子电池材料容易因离子束轰击而受到的热损失）。
为了确认真空转移系统的效果，进行了如下对比。（a）加工后利用真空转移的锂离子电池负极材料和（b）将加工后的样品在大气中暴露约10分钟后的SEM像。（a）可以清晰观察到石墨层的构造，而（b）因为与大气中的水和氧气接触，几乎所有的地方都被反应析出物覆盖。
锂离子电池正极材料中，通过扫描型扩散电阻显微镜（SSRM）在真空中观察离子蚀刻截面加工以及平面加工后的平滑面。右图为重合了通过AFM得到的3D影像和通过SSRM得到的电组织分布颜色的图片。表面的形状和物理特性一眼就可看出。
SEM和AFM联动分析
日立高新特别开发的技术(SAEMic.)实现了SEM和AFM的关联使用。可对同一个样品同一部位进行SEM（扫描电子显微镜）观察分析，可以测试形貌、组成、元素；AFM（原子力显微镜）观察分析，可测出3D形貌和力学信息，电磁物性信息，二者可以交替进行。且SAEMic.使用真空转移样品台，可保证在真空的条件下迅速进行锂离子电池的分析。
使用空气隔断支架制作断面和平面，是基于SEM和AFM观察评价的测定例子。曝露于大气环境后，由于受到大气中水分和氧气的影响，表面引起了化学反应并变质。使用真空转移样品台时，就不会受上述因素的影响，能够显示出真实的SEM衬度及SSRM电阻面分布图。
实时3D解析的FIB-SEM复合装置
NX9000的SEM镜筒与FIB镜筒互成直角，形成三维结构分析最理想的镜筒布局。通过反复高精度加工/观察，可以捕捉到样品细微结构的三维图像。电极等各个小颗粒的分布等也可以进行立体的解析。
采样的微小样品片的标准尺寸为10μm（长）x 3μm（宽）x 10μm（高）。在高真空的FIB-SEM的样品仓内同时进行FIB切割和SEM观察。
可插入FIB-SEM中使用的薄膜样品专用真空转移样品杆，通过滑动样品杆前端的密封圈，使样品保持在惰性气体或者真空环境中。另有配有液氮进行冷却的样品杆，减少样品加工时热损伤。
场发射透射电子显微镜
结合、融合了透射电子显微镜的技术。通过单球差校正器实现0.078nm的STEM空间分辨率、高角度倾转样品台、大立体角EDX（能量分散型X线分析装置）。以锂离子电池的开发、制造领域为首，面向广泛的用于提供亚埃水平的空间分辨率和高分析性能，以及多样的观察、分析手法。
这是LiCoO2(LCO)的ADF-STEM图像及ABF-STEM图像。在ADF-STEM图像中，能以鲜明的对比度清晰地观察到Co原子柱，但是观察不到作为轻元素的Li原子。另一方面，在可使用环形检测器检测出低角散射的电子的环形明场(ABF)- STEM图像中，能以高对比度观察到Li原子， 显示了直接观察LCO晶体中Li原子之方法的有效性。
