聚焦离子束系统 (FIB/FIB-SEM)

“Ethos”采用日立高新的核心技术--高亮度冷场发射电子枪及新研发的电磁复合透镜，不但可以在低加速电压下实现高分辨观察，还可以在FIB加工时实现实时观察。

通过自动重复使用FIB制备截面和进行SEM观察，采集一系列连续截面图像，并重构特定微区的三维结构。

追求理想的TEM样品制备工具 在高科技设备及高性能纳米材料的评价和分析领域，FIB-SEM已成为不可或缺的工具。

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统：新型电子光学系统，可达到理想的SIM像分辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了低加速电压的分辨率，使得高品质TEM样品制备成为可能

优异的高效分析性能 微型采样方法已在半导体器件分析领域成为一款工具，它正迅速向更小制样方向发展。仅用一小时左右即可获得一个微小样品，以便于STEM分析，其定位精度可达到0.1 µm以下。

该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当指定CAD系统中的坐标位置，样品台就会通过链接移动到相应位置，就可以获得相应位置的SIM图像。同时，CAD数据和SIM图像也可以重叠显示。因此，很容易检查到下层布线的状态，实质上提高了分析的效率，有利于进一步进行修理工作。