测量和检测

高解析度FEB测量装置CG6300

高解析度FEB测量装置（CD-SEM）CG6300通过电子光学系统的全新设计提高了解析度，并进一步提高了测量可重复性和图像画质。

高解析度FEB测量装置CS4800

适用于对应4、6、8英寸晶圆的测量SEM

高速缺陷观测设备CR6300(Defect Review SEM)

运用ADR和高精度ADC来为提高良率做贡献的Inline缺陷观测SEM。