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测量和检测

高解析度FEB测量装置CS4800

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适用于对应4、6、8英寸晶圆的测量SEM

高速缺陷观测设备CR6300(Defect Review SEM)

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运用ADR和高精度ADC来为提高良率做贡献的Inline缺陷观测SEM。