高解析度FEB测量装置CS5000
特长
- 考虑了更换现有设备或共同使用情况下的设备占地面积和GUI*1
- 通过先进设备的研发经验，搭载了高精度测量技术和最新的计量应用。
- 通过对晶圆搬运系统的大幅改进，提高了连续测量时的处理能力
- 采用新电子光学条件，支持前代设备无法测量的绝缘体晶圆
- 采用专用夹具，支持4英寸、6英寸和8英寸多种晶圆尺寸
*1 GUI (Graphic User Interface):使用计算机的图形显示器和鼠标等指示设备的软件操作系统。
规格
| 二次电子像锐度（*） | 3.8nm以下（加速电压：800 V） （*）二次电子分辨率为评估方法变更后的规格值，称为二次电子像锐度 |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | 直径 100mm, 150mm, 200mm |
| 自动装片装置 | 2个 |
| 设备尺寸（主体） | 1180（宽）× 1632（长）× 1990（高）mm |
