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高速缺陷观测设备CR6300(Defect Review SEM)

高速缺陷观测设备CR6300(Defect Review SEM)

运用ADR和高精度ADC来为提高良率做贡献的Inline缺陷观测SEM。

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特长

  • 高画质，高对此，高解析度SEM图像
  • 高速缺陷摄像（ADR）
  • 人性化的GUI

＜选项＞

  • 自动缺陷分类（ADC）
  • Bare wafer自动观测
  • 检查制程说明书（iPQ）

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