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半导体蚀刻系统9000系列

半导体蚀刻系统9000系列

20纳米世代后的装置对精度和工艺要求非常高,如双重图案和3D构造,以及针对新材料相对应的高精密度复杂制程要求,包含后道处理和形成保护膜等。为了对应这类下一代器件工艺,半导体蚀刻装置9000系列统一了接口并且能够搭载高精度模块化的各种腔室,从而实现了对应先进器件的扩展性和柔软性的工艺。

特长

  1. 新的9000系列的串接式平台,其模组腔室设计,可以提供制程使用的弹性以及未来的扩充性。
  2. 有助于顺利过渡到未来450mm晶圆用设备的平台和用户界面标准化整合。
  3. 9000系列平台采用了日立成熟的微波ECR(Electron Cyclotron Resonance)等离子体蚀刻腔室,已经过大批量生产的考验。

规格

应用晶圆直径 300mm
装置构成 9 chambers (max.)

* 部分规格会与照片不一样。

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