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クリーン・ドライエアシステム（グローブボックス/エンクロージャー/ドライルームシステム）
ラボスケールから本生産まで、あらゆるステップで効果を発揮 除湿機メーカーとして心臓部のローター生産から機械設計・製造まで一貫して行ってきたノウハウを生かしドライ環境が必要なあらゆる段階におけるお客様のニーズに、最適なシステムでお応えします。
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超音波映像装置 FineSAT III
超音波映像装置FineSATは、半導体パッケージ、電子部品、セラミック・金属・樹脂部品などの内部ボイド、クラック、剥離などの欠陥を、超音波を使って非破壊で映像化する装置です。X線装置、赤外線検査装置、光学顕微鏡では検出できないナノメーターレベルの隙間も検出することができます。
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Plasma Cleaner
IC、LED、PCB、LCD等の電子部品製造工程でのクリーニング、表面改質等で幅広くお使いいただける装置です。 バッチ装置と処理量に特化したインライン装置をご提案します。
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プラズマ処理装置 デスミア／デスカム／表面改質
独自の電極構造を用いたプラズマ処理装置です。リジットプリント基板からフレキシブルプリント基板まで豊富なラインナップから最適な装置をご提案します。
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日立ハイテクの材料開発ソリューション
MI(マテリアルズ・インフォマティクス)に関する各種サービス〔材料データ分析環境提供サービス、トライアル材料データ分析環境提供サービス、データ分析支援サービス、データ分析教育サービス、実験装置連携サービス(開発中)、計測・試験・分析 受託評価サービス〕をご提供します。