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Hitachi

株式会社 日立ハイテク

電子線高速広領域検査システム GS1000

高速広域スキャンと大電流技術及び高性能処理サーバを組合せた、新コンセプトの検査計測システム

特長

  • 高速広域スキャンと大電流技術及び高性能処理サーバを組合せた、新コンセプトの検査計測システム
  • 収差補正とScan歪み補正技術で、高分解能な広範囲一括画像取得(80um x 80um)と画像内均一性精度(<0.02%)を両立
  • SEM画像と設計データの比較手法を用いた高速多点検査計測で、多様なプロセス・イールド相関解析を実現
  • 人工知能(AI)技術を統合した解析エンジンにより、高速で高度なプロセス・イールド管理が可能(開発計画)