Applied Physics Technologies, Inc.では、主に 分析・検査向け装置や金属3Dプリンター向けに使用される電子源を製造しています。
材料 | 六ホウ化セリウム(CeB6)![]() |
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特長 | 長寿命、高輝度、耐汚染性(LaB6比較) |
用途 | 走査電子顕微鏡(SEM)、透過電子顕微鏡(TEM)、電子線マイクロアナライザ(EPMA)表面分析装置、金属3Dプリンター、マイクロフォーカスX線源、リソグラフィー装置等 |
材料 | 六ホウ化ランタン(LaB6)![]() |
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特長 | 長寿命、高輝度、(タングステンフィラメント比較) |
用途 | 走査電子顕微鏡(SEM)、透過電子顕微鏡(TEM)、電子線マイクロアナライザ(EPMA)表面分析装置、金属3Dプリンター、マイクロフォーカスX線源、リソグラフィー装置等 |
材料 | W、Ta、Mo、Re、Ir、Ta、Hc、Pt、Ni 等![]() ![]() |
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特長 | 自社装置を使用したゾーンリファイニング製法により 高純度で高品質な単結晶を製造 |
用途 | 走査電子顕微鏡(SEM)、透過電子顕微鏡(TEM)、半導体分析装置、X線管、EPMA、電子線描画装置 等 |
材料 | HfC、ZrC、TiC、NbC 等![]() ![]() |
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特長 | 高融点、高硬度、高い耐久性、低い蒸発率(長寿命) 低真空環境下でも高性能を発揮 |
用途 | 既存熱電子源の高性能化、研究用材料、様々な電子源アプリケーション 等 |
比較項目 | 熱電子源(W) | 熱電子源(LaB6/CeBix®) | ショットキー(SE)電子源 | 電界放出(FE)電子源 |
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電子線放出方法 | Wヘアピンフィラメントを加熱 | 細径単結晶を加熱 | 針状金属の加熱と高電圧印加(ショットキー効果を利用) | 針状金属に高電圧印加(トンネル効果を利用) |
輝度 | △ | 〇 | ◎ | ◎+ |
単色性 | ✕ | △ | 〇 | ◎ |
分解能 | △ | 〇 | ◎ | ◎+ |
電流量 | 〇 | ◎ | ◎ | △ |
安定性 | ◎ | 〇 | ◎ | △ |
寿命 | △ | 〇 | ◎ | 〇 |
コスト | ◎ | ○ | △ | ○ |
取扱性 | ◎ | 〇 | 〇 | △ |