半導体製造装置

新着ニュース

2019年2月21日

• 「第66回電気科学技術奨励賞」において「電気科学技術奨励賞」と「文部科学大臣賞」を受賞

2018年12月11日

• ウェーハ表面検査装置「LS9300A-EG」を開発

2018年11月15日

• SEMICON Japan 2018

2018年3月22日

• エンハンス版マイクロ波ECRエッチングモジュールを開発

2018年1月30日

• SEMICON Japan 2017 ご来場の御礼

2017年11月9日

• SEMICON Japan 2017

2017年10月31日

• 「タイにおけるシェア工場（スマートファクトリー）の実証」が「日ASEAN新産業創出実証事業」に採択

ニュースリリース

2019年2月21日

• 「第66回電気科学技術奨励賞」において「電気科学技術奨励賞」と「文部科学大臣賞」を受賞

2018年12月11日

• ウェーハ表面検査装置「LS9300A-EG」を開発

2018年3月22日

• エンハンス版マイクロ波ECRエッチングモジュールを開発

2017年10月31日

• 「タイにおけるシェア工場（スマートファクトリー）の実証」が「日ASEAN新産業創出実証事業」に採択

2017年10月17日

• 高分解能FEB測長装置（CD-SEM）、累計出荷台数5,000台を突破

2017年3月8日

• 新型高速レビューSEM「CR6300」を販売開始

2017年1月30日

• 日立ハイテクとピコサン社のマイクロ波ECRプラズマを用いた原子層堆積装置の共同開発について

製品ニュース

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イベントニュース

2018年11月15日

• SEMICON Japan 2018

2018年1月30日

• SEMICON Japan 2017 ご来場の御礼

2017年11月9日

• SEMICON Japan 2017

2017年1月27日

• SEMICON Japan 2016 ご来場の御礼

2016年11月16日

• SEMICON Japan 2016

2016年1月4日

• SEMICON Japan 2015 ご来場の御礼

2015年11月18日

• SEMICON Japan 2015