AFM100 Plus/AFM100システムは、研究開発現場、生産現場、教育現場など様々な場面でのAFM装置の普及を目的に、操作性と信頼性、スループットの向上を追求し開発された小型高分解能ユニットです。
価格:お問合せください
取扱会社:株式会社 日立ハイテク
・ナビゲーションソフトによる自動AFMマーキング機能
AFM100 Plus | AFM100 | |
検出系 | 光てこ方式/SLD(スーパールミネッセントダイオード) | |
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レバーホルダ | プリマウントホルダ※、 マルチホルダ※ | |
基本仕様 | RMSノイズレベル:≦0.03 nm、面内ドリフト:≦0.03 nm/sec | |
試料サイズ | 最大35 mmφ、厚さ10 mm、(最大50 mm角、厚さ20 mm)※ | |
スキャナ(走査範囲)※ | (XY:20 µm/Z:1.5 µm、XY:100 µm/Z:15 µm、XY:150 µm/Z:5 µm)※(5年保証付属) | |
光学顕微鏡 | ズーム機能付顕微鏡 (視野XY:1.8×1.38~0.26×0.2 mm)※ 簡易光学顕微鏡 (視野XY:1.6×1.2 mm)※ |
簡易光学顕微鏡 (視野XY:1.6×1.2 mm) |
基本機能 | AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状/物性、Q値制御 | AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状 |
除振・防音機構 | エア供給式パッシブ除振台・防音カバー | 卓上除振台 |
試料移動機構 | マニュアルステージ XY:±2.5 mm、インパクトステージセット(導電タイプ)※ | |
測定対応環境 | 大気、液中※、加熱※(室温~250℃)、液中加熱※(室温~60℃) | |
その他機能 | セルフチェック機能、ソフトウェアダウンロードサービス、AFMマーキング※ | |
電源仕様 | AC 100 V±10 V、15 A、1系統、D種接地 接地付コンセント |
走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)のアプリケーション(測定事例)を紹介しています。
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