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年表

AFMの基礎研究

STMの発明（1981, IBMチューリッヒ研究所）

日立ハイテクサイエンス、STMの研究を開始（1985）

日立ハイテクサイエンス、 旧電子技術総合研究所への技術協力により国内初原子像観察に成功（1986）
AFMの発明（1986, IBM・スタンフォード大）

当社製AFMの変遷

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環境制御型ユニット AFM5300E
汎用小型ユニット AFM5100N

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