SEM-AFMコリレーションデータ
SEM-AFM共通ホルダを使用することで、SEMによる組織、組成、元素分布観察等と、AFMによる3D形状計測と硬さや摩擦、吸着などの力学物性情報や電流、電気抵抗、表面電位、磁性などの電磁気物性情報の同一箇所での解析評価が手軽にできるようになりました。
SEMによるコントラストの起源をAFMによる高精度3D形状計測と物性観察により追求できる、日立ハイテクグループが提供する新たなSEMとAFMのコラボレーションによるソリューション事例を中心にご紹介します。
SEM-AFMコリレーションデータ
| No. | タイトル |
|---|---|
| No.016 | |
| No.015 | |
| No.012 | |
| No.010 | |
| No.008 | |
| No.001 |
AFMアプリケーションデータ
併せて、 AFMによる高精度3D形状計測や各種物性評価事例についてもご紹介します。
| No. | タイトル |
|---|---|
| No.014 | |
| No.013 | |
| No.011 | |
| No.009 |
この他にも多様なAFMアプリケーション事例をご紹介しています。
