分野別 : 材料解析AFM（無機・金属）
あらゆるステージで活躍する日立のAFM
分野別
一歩先をゆく新たな計測ソリューション
現代のものづくりは様々なナノ材料が中核を担い、その材料の研究においては試料の表面形状と化学組成の高精度な測定が欠かせません。AFM5500Mは、SEMの形状、組成、元素分析とAFMの3D形状計測と力学物性情報や電磁気物性情報を融合する解析ソリューションや、大気中と真空化の双方における仕事関数測定、真空中の高感度MFM測定などを実現し、材料研究の場で求められている測定ニーズに的確に対応します。
座標リンケージによるSEMとAFMの同一視野観察
適用製品：
「SÆMic.（セイミック）」は、SEMによる形状、組成、元素分析（EDX）などと、AFMによる3D形状計測と力学物性情報（硬さ・吸着・摩擦）や電磁気物性（電流・抵抗・電位）、磁気物性（磁性）を同一箇所で解析評価を行うソリューションです。リンケージホルダーを用いることで、同一箇所でのSEMとAFM解析評価を高精度かつ手軽に実現します。
SEMとAFM、異なる装置の特徴がある機能で同じ場所を観察してみたい。
しかし装置の中に異なる装置を組み込むと、それぞれの性能に制約が生じてしまいます。
日立ハイテクは、その矛盾を解決すべくSEMとAFM それぞれの機器の特性を活かしながら連携させることで計測や機械物性・電気特性・成分分析などを含めたナノ3D形状計測ソリューションを実現しました。
この新しい観察手法は、従来の解析手法では判らなかった多角的な解決アプローチを可能にします。
ここでは、試料のカテゴリー毎に用途例を簡易データシートとしてご紹介します。
大気中／真空中の仕事関数測定
適用製品：
大気中と真空中における同一試料のKFM（Kelvin Force Microscopy）評価を行えます。大気中と真空中で異なる測定手法を用いて結果に差異が生じることなく、環境（大気／真空）に起因するような仕事関数計測への影響を調べることが可能です。
真空中の高感度MFM測定
適用製品：
磁性探針と試料に作用する磁気的作用をカンチレバー振動の位相変化として取り出し、画像化できます。真空中での測定が可能なため、大気中や溶液中のようにガス分子や液体による粘性抵抗がほとんどなく、適切なQ値を自動的に設定して高感度かつ高分解能な磁気イメージングが可能です。
関連情報
走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）に関する測定手法、測定例の一部を、会員制情報検索サイト「S.I. navi」でご提供しています。
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