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走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM):原理解説

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)は、プローブ(探針)と試料間に作用するさまざまな物理量を検出し、微小領域の表面形状や物性を測定する顕微鏡の総称です。その測定モードは、基本モードと、そこから派生した様々な物性マッピングが可能な多機能モードの二つに大別することができます。


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ここでは、SPMの最も基本的なモードである、走査型トンネル顕微鏡(STM)、原子間力顕微鏡(AFM)、ダイナミック・フォース・モード(DFM)、ならびに、表面形状の観察だけではなく、摩擦や粘弾性のような機械的物性イメージング、電流や磁気力などの電磁気物性イメージング等を可能にする多機能モードについて解説します。

基本モード

AFMの基本モード

多機能モード

機械的物性モード

電磁気物性モード

新しいAFM技術

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