Nano/Pico Current AFM
原理： 試料にバイアス電圧を印加し、導電性探針を通して流れる電流をI/Vアンプによって計測し、画像化します。
測定した電流マッピング画像の任意の場所でIVカーブ（電流-電圧特性）を測定することが可能です。
■標準タイプ：108V/Aアンプ
計測範囲： 0.1nA～100nA
電流分解能： 5pA RMS
■低電流タイプ：1011V/Aアンプ
計測範囲： 0.1pA～100pA
電流分解能： 100fA RMS 以下
【Nano/Pico Current AFMの用途】
- 電子デバイスなどの電気特性評価
- 電子材料、強誘電体膜などのリーク電流評価（絶縁性評価）
Nano/Pico Current AFMの適用例
試料：DVD-RAM
DVD-RAMの保護層を剥がし、バイアス電圧1Vで測定した電流像。
記録マークのアモルファス相には電流が流れていません。
＜参考資料＞
試料：強誘電体薄膜
強誘電体薄膜のリーク箇所の同定 どの場所でリークしているか一目でわかります。
関連情報
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