走査型近接場光学顕微鏡（SNOM：Scanning Near-field Optical Microscope）
プローブ先端に発生させた近接場光をサンプルに照射したり、サンプル表面に発生させた近接場光をプローブ先端で散乱させることで、局所的な光学特性を高分解能で測定します。
- 光ファイバーを先鋭化し、先端に数十nm程度の微小開口を設けた光プローブを使用します。
- プローブに光を導入し、プローブ先端に近接場の微小スポットを発生させてサンプルに照射し、光学特性を測定します。
- シリコン製のカンチレバーに銀などの散乱体をコートします。
- 外部から光を入射しサンプル表面に近接場光を発生させ、カンチレバーに設けた散乱体で散乱させて、光学特性を測定します。
- 距離制御はDFMまたはコンタクトAFMモードで行われるためサンプルの凹凸形状の同時測定が可能です。
SNOMの用途
- 光学限界を超える分解能での光学イメージング
- 局所分光分析
- バイオ、有機サンプルの蛍光測定
- CNT、半導体などの分光分析
