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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 Regulusシリーズ

従来機種のSU8240, SU8230, SU8220, およびSU8010を新たなプラットフォームに統合し、Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100として生まれ変わりました。

「Regulus シリーズ 」は、SU8200シリーズで採用されたコールドFE電子銃を搭載し*1、低ノイズの電子ビームで安定した照射電流は、観察・分析双方によりクオリティの高いデータを提供します。

観察性能は光学系の最適化により、Regulus8240/8230/8220の分解能は1 kVで0.7 nm、Regulus8100では0.8 nmに向上しました。

また超高分解能観察能力を十分に発揮させるため、倍率は従来の100万倍から200万倍まで拡張しました*1
その他、複雑化している信号検出機能の理解を補助する機能など、高い性能を十分に使用していただくためのユーザーサポート機能も強化しています。

*1
Regulus8240/8230/8220のみ

    特長

    • 「SU8200シリーズ」に採用したコールドFE電子銃を継承*2
    • フラッシング直後の高輝度安定領域を使用することによる低加速電圧での高分解能観察と分析を両立
    • コンタミネーションの影響を軽減させた高真空試料室
    • Topフィルター機能(オプション)による、さまざまな材料コントラストの可視化機能*2

    高分解能・極低照射電圧観察

    高分解能・極低照射電圧観察
    試料: 金蒸着粒子
    照射電圧: 10 V

    超高分解能観察

    超高分解能観察
    試料: 白金触媒
    加速電圧: 30 kV

    高分解能・低エネルギーEDX分析

    高分解能・低エネルギーEDX分析
    試料: Snボール
    照射電圧: 1.5 kV

     
    *2
    Regulus8240/8230/8220のみ

    仕様

    項目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
    二次電子分解能 0.7 nm
    (加速電圧15 kV)
    0.8 nm
    (照射電圧1 kV)*3
    0.6 nm(加速電圧 15 kV)
    0.7 nm(照射電圧 1 kV)*3
    加速電圧 0.5~30 kV
    照射電圧*3 0.1~2 kV 0.01~20 kV
    倍率 20~1,000,000倍*4 20~2,000,000倍*4
    試料ステージステージ制御 3軸モーター(5軸モーターはオプション) 5軸モータ駆動
    可動範囲X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
    Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
    R 360°
    T -5~70°
    Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
    再現性 - - - ±0.5 µm以下
    *3
    リターディングモードによる観察
    *4
    127 mm × 95 mmを表示サイズとして倍率を規定