従来機種のSU8240, SU8230, SU8220, およびSU8010を新たなプラットフォームに統合し、Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100として生まれ変わりました。
「Regulus シリーズ 」は、SU8200シリーズで採用されたコールドFE電子銃を搭載し*1、低ノイズの電子ビームで安定した照射電流は、観察・分析双方によりクオリティの高いデータを提供します。
観察性能は光学系の最適化により、Regulus8240/8230/8220の分解能は1 kVで0.7 nm、Regulus8100では0.8 nmに向上しました。
また超高分解能観察能力を十分に発揮させるため、倍率は従来の100万倍から200万倍まで拡張しました*1。
その他、複雑化している信号検出機能の理解を補助する機能など、高い性能を十分に使用していただくためのユーザーサポート機能も強化しています。
試料: 金蒸着粒子
照射電圧: 10 V
試料: 白金触媒
加速電圧: 30 kV
試料: Snボール
照射電圧: 1.5 kV
| 項目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 二次電子分解能 | 0.7 nm （加速電圧15 kV） 0.8 nm （照射電圧1 kV）*3 |
0.6 nm（加速電圧 15 kV） 0.7 nm（照射電圧 1 kV）*3 |
|||||
| 加速電圧 | 0.5～30 kV | ||||||
| 照射電圧*3 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| 倍率 | 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 | |||||
| 試料ステージ | ステージ制御 | 3軸モーター（5軸モーターはオプション） | 5軸モータ駆動 | ||||
| 可動範囲 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| 再現性 | - | - | - | ±0.5 µm以下 | |||
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