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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテク

ライフサイエンス

Materials Science

ライフサイエンスの多くの分野で、電子顕微鏡は、ウイルスの発見・感染予防・オルガネラ構造の解明・新薬開発・食品安全を含む、さまざまな貢献をしてきました。具体的には、分子生物学、細胞生物学、微生物学、植物学、臨床病理学、薬理学、毒物学などの分野で利用されています。
また、細胞構造とその機能、生体分子やタンパクの超構造、三次元構造の研究にも利用されています。
日立ハイテクは、細胞内部構造研究のために超薄切片を用いるTEMや三次元構造観察のためのSEMやFIB-SEMなど、ライフサイエンスアプリケーションのための最先端のツールを提供しています。

Products

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU9000

冷陰極電界放出形電子銃と、低収差レンズの最高峰であるインレンズ型対物レンズを搭載したSU9000は、日立FE-SEMの最上位機種で、0.4nmの世界最高分解能を実現しています。0.34nmの高分解能を誇るSTEMに加えて、従来のSEMでは難しかった、EELSやディフラクションの測定にも対応できます。

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超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 Regulusシリーズ

Regulusシリーズは冷陰極電界放出形電子銃とセミインレンズ型対物レンズを組み合わせ、大きな試料でも超高分解能観察が可能です。試料サイズ・解析目的に応じて、ステージ等が異なる、4つのモデルを用意しています。

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超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU7000

複数の二次電子信号と反射電子信号の同時取得で、多様な信号を迅速に取得。
最多6チャンネルの信号同時表示・保存がイメージング能力を最大化します。
大型試料室や低真空対応機能により、FE-SEMに求められる多様な観察ニーズに応えます。
さらに、ショットキーエミッター搭載の電子銃により照射電流は最大200 nAまで到達可能。マイクロアナリシスや、将来の分析手法の多様化・拡張にも備えます。

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ショットキー走査電子顕微鏡 SU5000

SU5000はショットキー電子銃とアウトレンズ型対物レンズを組み合わせ、様々な大きさ・組成の試料の高分解能観察・各種分析に対応しています。ドローアウト試料室により、加熱・引張りステージを利用したアプリケーションにも対応可能です。
また、あらゆるユーザーのSEM体験をサポートする独自のユーザーインターフェース、EM Wizardを搭載しています。

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走査電子顕微鏡 SU3800 / SU3900

日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800 / SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。

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走査電子顕微鏡 FlexSEM 1000 / FlexSEM 1000 II

卓上設置も可能なコンパクトサイズながら4.0nmの分解能を実現した、熱電子銃搭載SEMです。標準装備の低真空モードにより、導電性が不十分な試料でも、帯電防止用の金属コーティング無しに、迅速な観察が可能です。低真空下での試料最表面形状観察に優れたUVD(高感度低真空検出器)も選択可能です。

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卓上顕微鏡 Miniscope® TM4000II / TM4000PlusII

TM4000Ⅱで加速電圧20 kV対応を実現しました。さらにMulti Zigzag(連続視野取込機能:オプション)により広範囲のSEM観察が可能になっています。さらに広がる観察・分析アプリケーションをご提供します。

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透過電子顕微鏡 HT7800シリーズ

操作性を追及した120kVのデジタルTEMです。高精細スクリーンカメラやImage Navigationにより、明るい部屋でのデジタル操作がより快適になりました。広視野・高コントラスト観察を追及したHT7800と、クラス最高レベルの高分解能を実現したHT7830をラインナップしています。

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リアルタイム3DアナリティカルFIB-SEM複合装置 NX9000

SEMカラムとFIBカラムを直角に配置した、三次元構造解析に最適なFIB-SEMです。電界放出形電子銃と独自のジオメトリーにより、加工観察位置でも高分解能SEM観察を実現しています。3D-EDSや3D-EBSDも、ステージを移動することなく、実施可能です。マイクロサンプリングやトリプルビームを組み合わせることで、TEMやアトムプローブの高品位試料作製にも対応できます。

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高性能FIB-SEM複合装置 Ethos NX5000

「Ethos」は、日立ハイテクのコア技術である高輝度冷陰極電界放出型電子銃と新開発の電磁界重畳型レンズにより、低加速電圧での高分解能観察を可能とし、リアルタイムFIB加工観察と両立しました。

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汎用小型ユニット AFM5100N

センサー内蔵型レバーによりレーザー調整を不要にし、手軽に観察準備から測定までを実現する小型AFMです。卓上での設置を実現し、いつでもどこでも設置可能な省スペース設計を実現しています。

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環境制御型ユニット AFM5300E

真空・液中・ガス・温度・湿度など、様々な環境ニーズに対応する環境制御型AFMです。電子デバイスなど電気物性評価に欠かせない吸着水影響などを排除した高真空中での評価を実現します。

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関連情報

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