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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

マテリアルサイエンス

Materials Science

人類の歴史を通して、材料は文明の発達に非常に重要な役割を果たしてきました。また、マテリアルサイエンスは、日常生活用品から宇宙に関するものまで、すべてに影響をもたらしています。
材料の形態・組成・物理特性・動的挙動の評価を可能とする電子顕微鏡と走査プローブ顕微鏡は、その発明以来、マテリアルサイエンスに重要な貢献をしてきました。製品品質管理や新素材の開発にも欠かすことができません。
日立ハイテクノロジーズでは、簡単操作の卓上SEM、高精度解析のためのFE-SEM/TEM、3D解析にも対応するFIB-SEM、表面トポグラフィーの同時計測が可能なAFMを含む、幅広いラインアップを提供しています。

Products

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU9000

冷陰極電界放出形電子銃と、低収差レンズの最高峰であるインレンズ型対物レンズを搭載したSU9000は、日立FE-SEMの最上位機種で、0.4nmの世界最高分解能を実現しています。0.34nmの高分解能を誇るSTEMに加えて、従来のSEMでは難しかった、EELSやディフラクションの測定にも対応できます。

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超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 Regulusシリーズ

Regulusシリーズは冷陰極電界放出形電子銃とセミインレンズ型対物レンズを組み合わせ、大きな試料でも超高分解能観察が可能です。試料サイズ・解析目的に応じて、ステージ等が異なる、4つのモデルを用意しています。

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ショットキー走査電子顕微鏡 SU5000

SU5000はショットキー電子銃とアウトレンズ型対物レンズを組み合わせ、様々な大きさ・組成の試料の高分解能観察・各種分析に対応しています。ドローアウト試料室により、加熱・引張りステージを利用したアプリケーションにも対応可能です。
また、あらゆるユーザーのSEM体験をサポートする独自のユーザーインターフェース、EM Wizardを搭載しています。

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走査電子顕微鏡 SU3800 / SU3900

日立ハイテクノロジーズの走査電子顕微鏡 SU3800 / SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。 数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。

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走査電子顕微鏡 FlexSEM 1000

卓上設置も可能なコンパクトサイズながら4.0nmの分解能を実現した、熱電子銃搭載SEMです。標準装備の低真空モードにより、導電性が不十分な試料でも、帯電防止用の金属コーティング無しに、迅速な観察が可能です。低真空下での試料最表面形状観察に優れたUVD(高感度低真空検出器)も選択可能です。

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電界放出形透過電子顕微鏡 HF5000

空間分解能と傾斜・分析性能を調和した、200 kV 収差補正TEM / STEM
0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。
走査透過電子顕微鏡「HD-2700」搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。
ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。

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透過電子顕微鏡 HT7800シリーズ

操作性を追及した120kVのデジタルTEMです。高精細スクリーンカメラやImage Navigationにより、明るい部屋でのデジタル操作がより快適になりました。広視野・高コントラスト観察を追及したHT7800と、クラス最高レベルの高分解能を実現したHT7830をラインナップしています。

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電界放出形透過電子顕微鏡 HF-3300

高輝度の冷陰極電界放出形電子銃と300kVの高加速電圧の組合せにより、超高分解能観察と高感度分析を両立したハイエンドFE-TEMです。STEMとSEMの同時観察により、内部構造と表面形状を合せて確認することも可能です。

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リアルタイム3DアナリティカルFIB-SEM複合装置 NX9000

SEMカラムとFIBカラムを直角に配置した、三次元構造解析に最適なFIB-SEMです。電界放出形電子銃と独自のジオメトリーにより、加工観察位置でも高分解能SEM観察を実現しています。3D-EDSや3D-EBSDも、ステージを移動することなく、実施可能です。マイクロサンプリングやトリプルビームを組み合わせることで、TEMやアトムプローブの高品位試料作製にも対応できます。

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FIB-SEM複合装置、トリプルビーム装置 NX2000

高品位TEM試料作製を追及したFIB-SEMです。電界放出形電子銃と高感度信号検出系により、高コントラスト・リアルタイムのSEM加工終点検知を実現しました。姿勢制御技術やAr/Xeトリプルビームにより、試料作製時のアーティファクトやダメージも大幅に低減可能です。また、自動マイクロサンプリングを組み合わせることで、TEM試料作製のスループットを大幅に向上させることができます。

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高性能FIB-SEM複合装置 Ethos NX5000

「Ethos」は、日立ハイテクのコア技術である高輝度冷陰極電界放出型電子銃と新開発の電磁界重畳型レンズにより、低加速電圧での高分解能観察を可能とし、リアルタイムFIB加工観察と両立しました。

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環境制御型ユニット AFM5300E

真空・液中・ガス・温度・湿度など、様々な環境ニーズに対応する環境制御型SPMです。電子デバイスなど電気物性評価に欠かせない吸着水影響などを排除した高真空中での評価を実現します。

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中型プローブ顕微鏡システム AFM5500M

XY200 μmの広域走査に加えて歪みを抑制したフラットスキャナにより直線性の高い計測を実現する中型SPMです。

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イオンミリング装置 ArBlade® 5000

断面ミリングと平面ミリング(フラットミリング)に対応したハイブリッドタイプのイオンミリング装置で、目的に応じた試料前処理が可能です。断面ミリング幅を8mmまで拡張することができ、電子部品など広領域ミリングを必要とするアプリケーションにも対応できます。

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イオンミリング装置 IM4000PLUS

断面ミリングと平面ミリング(フラットミリング)に対応したハイブリッドタイプのイオンミリング装置で、目的に応じた試料前処理が可能です。加工中の温度上昇で融解・変形が生じる試料の加工に有効な冷却温度調整機能やミリング後の大気暴露を避けられる雰囲気遮断試料ホルダユニットもラインアップしています。

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関連情報

S.I.navi

「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
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