蘭ASML社製300mm対応露光装置を受注

2004年11月9日

株式会社日立ハイテクノロジーズ（本社：東京都港区。執行役社長　林將章。以下、日立ハイテク）は、松下電器産業株式会社（本社・大阪府門真市）より、オランダASML社製300mm対応露光装置システムを受注した。

今回日立ハイテクが受注した露光装置システムは、ASML社が｢TWINSCANシリーズ｣として2000年から発売しているもので、 300mm対応露光装置としてのトータルのパフォーマンスが評価され受注につながった。

ASML社はオランダに本社を置くステッパー業界トップクラスの企業。日本に対する販売は1995年より総販売代理店である日立ハイテクを通じて行ってきたが国内露光装置メーカーの壁は厚く苦戦が続いていた。

日立ハイテクでは今回の松下電器産業からの受注を、日本市場におけるASML社製露光装置の地位獲得のための契機と捉え、更なる拡販に注力していく。

300mm対応スキャン露光装置（TWINSCAN　ATシリーズ）の製品詳細ページへ

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