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業種業界から探す パワーデバイス

パワーデバイス

蛍光X線膜厚計 FT110A

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蛍光X線膜厚計 FT110A

自動位置決め機能により、試料台の上にサンプルを置くだけで、試料観察光学系の焦点を数秒以内に自動的に合わせることができます。これにより、従来は手動で行っていた焦点合わせの操作が無くなり、測定にかかわるスループットが格段に向上しました。

蛍光X線膜厚計 FT160シリーズ

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蛍光X線膜厚計 FT160シリーズ

微小・微細な電子部品などに施されたナノオーダーレベルのめっき膜厚測定に対し、ポリキャピラリ光学系と高性能半導体検出器を搭載し、高精度・高スループットを実現した蛍光X線膜厚計最新モデルです。

蛍光X線膜厚計 X-Strata920SDD

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蛍光X線膜厚計 X-Strata920SDD

半導体検出器搭載により、フラッシュ金(Au)めっきの膜厚測定や無電解ニッケル(Ni)めっきのリン(P)濃度測定等、比例計数管モデルでは測定の難しいアプリケーションに対応可能です。 また、複数種類あるステージやコリメータからの選択により、最適な装置構成を実現できます。

ICP発光分光分析装置(ICP-OES/ICP-MS)

PRODUCT

ICP発光分光分析装置(ICP-OES/ICP-MS)

ICP発光分光分析装置(ICP-OES/ICP-MS)の紹介ページです。

小型イオンビームミリング装置

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小型イオンビームミリング装置

小型イオンビームミリング装置の紹介ページです。

枚葉式イオンビームミリング装置

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枚葉式イオンビームミリング装置

枚葉式イオンビームミリング装置の紹介ページです。

バッチ式イオンビームミリング装置

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バッチ式イオンビームミリング装置

バッチ式イオンビームミリング装置の紹介ページです。

スピンプロセッサー(MSP-1)

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スピンプロセッサー(MSP-1)

少量生産・研究開発などに適した処理装置です。ワークのケミカル処理から乾燥までの一括処理が可能です。

マルチスピンプロセッサー(MSP-2)

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マルチスピンプロセッサー(MSP-2)

量産、大量生産向けの枚葉式処理装置です。各ユニットをセパレート化することにより、装置停止することなくメンテナンスが可能です。

MEMSデバイス装置

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MEMSデバイス装置

MEMSデバイス装置の紹介ページです。

薄膜装置

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薄膜装置

薄膜装置の紹介ページです。

パワーデバイス検査装置

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パワーデバイス検査装置

パワーデバイス検査装置の紹介ページです。

多槽バッチ式ウェットステーション

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多槽バッチ式ウェットステーション

バッチ式洗浄・剥離・エッチング処理に適応した装置です。ワークのディップ処理から乾燥までの連続処理が可能です。

超音波映像装置 FineSAT III

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超音波映像装置 FineSAT III

超音波映像装置FineSATは、半導体パッケージ、電子部品、セラミック・金属・樹脂部品などの内部ボイド、クラック、剥離などの欠陥を、超音波を使って非破壊で映像化する装置です。X線装置、赤外線検査装置、光学顕微鏡では検出できないナノメーターレベルの隙間も検出することができます。

電子スキャン方式高速超音波映像装置 ES5100

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電子スキャン方式高速超音波映像装置 ES5100

電子スキャン(=フェーズドアレイ方式)で最大周波数75MHzを実現した超音波映像装置です。

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)

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走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)の紹介ページです。

走査型白色干渉顕微鏡 VS1330

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走査型白色干渉顕微鏡 VS1330

光干渉方式の特徴であるスピード・精度・分解能をそのままに、ISO国際標準に準拠した汎用計測ユニットとしてお使いいただける単眼ベースモデルです。 顕微鏡タイプのため微分干渉ユニットが装着でき微分干渉像も手軽に観察可能です。 卓上・小型タイプのコンパクト設計で場所をとらず、表面粗さ管理や膜厚管理といった検査工程に適したモデルです。

ナノ3D光干渉計測システムVS1800

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ナノ3D光干渉計測システムVS1800

ナノ3D光干渉計測システムVS1800は、光の干渉現象を利用して微細な表面形状測定を行い、高機能フィルムや半導体、自動車部品、ディスプレイ業界において求められている高精度な計測を実現します。また、多層膜の層構造および層内部の異物計測を非破壊で行うことも可能です。

電子顕微鏡(SEM/TEM/STEM)

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電子顕微鏡(SEM/TEM/STEM)

電子顕微鏡(SEM/TEM/STEM)の紹介ページです。

集束イオンビーム(FIB/FIB-SEM)

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集束イオンビーム(FIB/FIB-SEM)

集束イオンビーム(FIB/FIB-SEM)の紹介ページです。

電子顕微鏡周辺装置

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電子顕微鏡周辺装置

電子顕微鏡周辺装置の紹介ページです。

ナノフォトン レーザーラマン顕微鏡 RAMANtouch

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ナノフォトン レーザーラマン顕微鏡 RAMANtouch

ナノフォトン社が開発した、高速、高画質のレーザーラマン顕微鏡 RAMANtouchは、最先端の光学技術を取り入れた分光器と光学素子を搭載し、空間分解能と感度をさらに向上させました。あらゆるアプリケーションで高いパフォーマンスを発揮します。

広視野ラマンスコープ RAMAN view

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広視野ラマンスコープ RAMAN view

広視野ラマンスコープ RAMANviewは、ラマンイメージングの適用範囲を大きく広げました。 実体顕微鏡で使われる広視野対物レンズに最適化した光学系を搭載。最大 2.5cm 角の範囲をラマンイメージングすることができます。

設計・製造

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設計・製造

設計・製造の紹介ページです。

防爆タブレットPC

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防爆タブレットPC

国内防爆検定取得(Zone2)、防塵・防滴構造(IP65) LTE対応でデータ通信が可能 画面に水滴がついた状態や手袋をつけたままでもタッチ操作可能

アクセス管理ソリューション

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アクセス管理ソリューション

アクセス管理ソリューションの紹介ページです。

BCP対策

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BCP対策

お客さまの情報システムのBCP対策、ディザスタリカバリ対策を日立ハイテクグループ会社のノウハウを元にご提供いたします。

クラウド・ネットワーク

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クラウド・ネットワーク

クラウド・ネットワークの紹介ページです。

NX Netmonitor 不正PC排除ソリューション

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NX Netmonitor 不正PC排除ソリューション

NX Netmonitor 不正PC排除ソリューションの紹介ページです。

プロセスガスモニタ CP-1000

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プロセスガスモニタ CP-1000

ガス中の極微量有害成分や素材表面の微量付着成分など高速・高感度に計測します。

ダイオキシン前駆体モニタ CP-2000/PCBモニタ CP-2000P

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ダイオキシン前駆体モニタ CP-2000/PCBモニタ CP-2000P

ごみ焼却場での排ガスに含まれるクロロフェノール、クロロベンゼンの濃度を、またPCB分解処理設備でのPCB濃度を連続的に測定・監視します。

金型管理サービス

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金型管理サービス

金型管理サービスの紹介ページです。

計測装置・検査装置

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計測装置・検査装置

計測装置・検査装置の紹介ページです。

コンダクターエッチング装置 M-600/6000シリーズ

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コンダクターエッチング装置 M-600/6000シリーズ

コンダクターエッチング装置 M-600/6000シリーズは、デジタルモバイル機器、白物家電製品、自動車、鉄道などに用いられるパワー半導体のシリコン加工に対応します。 マイクロ波ECR方式の高密度プラズマに加え、低温エッチング技術、TM(Time Modulation)バイアス技術の適用により、堆積性の低いクリーンなプロセスの採用が可能となり、滑らかな側壁形状を実現し、高い量産性を提供します。

エッチング装置 プロダクションサポートプログラム

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エッチング装置 プロダクションサポートプログラム

日立ハイテクは、装置付加価値の向上と、運用経費節減の両立によるトータルソリューションサービスの追求をキーワードとして、プロダクションサポートプログラムを提供します。

マイクロ波ECR方式エッチングチャンバー

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マイクロ波ECR方式エッチングチャンバー

日立のコンダクターエッチングチャンバーは、処理圧力0.1Pa以下の高真空領域において、安定した高密度プラズマを生成することが可能なマイクロ波ECR方式を採用しています。 マイクロ波ECR方式はコイル磁場によるプラズマ分布制御や高さ制御をはじめとする豊富なパラメータにより広範囲なプロセスウィンドウを実現、さらにプラズマ制御技術をチャンバクリーニングに応用することで、安定した量産性能を提供します。 また、お客様のデバイスニーズに合わせた豊富なオプションもご用意しています。

計測・試験・分析 受託評価サービス

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計測・試験・分析 受託評価サービス

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