ページの本文へ

日立ハイテク
  1. Home
  2. 製品サービス・ソリューション
  3. 電子顕微鏡/プローブ顕微鏡
  4. 走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)
  5. ステーション(コントローラー)
  6. プローブステーション AFM5000II/RealTune®II

プローブステーション AFM5000II/RealTune®II

-

進化した測定パラメータ自動調整機能を標準搭載するとともに、分かりやすさを追求したGUIに一新しました。これによりAFM初心者、また初めて測定する試料でも、再現性の高いデータが取得できます。

* RealTuneは株式会社日立ハイテクサイエンスの日本における登録商標です。

価格 AFM5100N/5200Sユニット用¥5,000,000~
AFM5300Eユニット用¥8,000,000~
(ディスプレイは別売りです)

取扱会社:株式会社 日立ハイテク

特長

1. RealTune®II 新測定パラメータ自動調整機能

  • 独自の測定パラメータ自動調整機能がパワーアップ!
    カンチレバーの振動振幅や動作周波数など、主要なパラメータを予測し調整する新アルゴリズムを開発。 試料表面の形状、走査エリア、使用するカンチレバーやスキャナなどを総合的に評価し、 最適な測定条件を高効率・高精度に調整します。
  • 新たに振幅調整機能を付加した測定パラメータ自動調整機能 (RealTune®II)により、ワンクリック測定が可能となりました。熟練オペレータを必要とした測定が、初心者でも簡単に行えます。
  • パラメータの調整が難しい試料にも対応。
新測定パラメータ自動調整機能

従来方式
繊細なパラメータ調整を必要とする、難しい試料。軟らかな繊維が変形し横筋が発生。

新アルゴリズム
最適なパラメータに自動調整し、複雑な繊維構造も変形させずに測定。

【事例1】繊維状のカーボンナノチューブ構造体(ヤモリテープ)

【事例1】繊維状のカーボンナノチューブ構造体(ヤモリテープ)
【試料提供:日東電工株式会社様】

従来方式
表面が壊れやすい試料のため、横筋が多く、ステップの輪郭も不明瞭。

新アルゴリズム
最適なパラメータに自動調整し、分子レベルのステップ構造を安定して測定。

【事例2】有機薄膜トランジスタ用多結晶膜(ペンタセン多結晶膜)

【事例2】有機薄膜トランジスタ用多結晶膜(ペンタセン多結晶膜)
【試料提供:神戸大学北村研究室】

2. 新GUI(Graphical Use Interface)

イージーメニュー

  • 見やすく分かりやすいアイコンと、厳選された情報表示で、初心者から上級者まで、もう操作に迷いません!
  • 測定と解析の作業領域をタブで切り替え、スッキリした画面に。広く有効に利用できます。
セレクタ、ナビゲーション
測定画面、解析画面

3. 3Dオーバーレイ機能

形状像と物性像を重ね合わせて表示し、さらに3D像として描画することができるので、物性の分布を視覚的に捉えることが可能です。

MOSトランジスタの形状像とSNDM像の3D重ね合わせ

4. 粗さ解析、断面プロファイル機能

粗さ解析や断面プロファイル解析など、多彩な解析機能を備えています。

粗さ解析、断面プロファイル機能

5. コンパクト設計

軽量化され、コンパクトになりました。設置場所を選びません。
220mm(W)×500mm(D)×385mm(H)、約15kg

コンパクト設計

仕様

接続機種 AFM5100N、AFM5200S、AFM5300E
X, Y, Z走査電圧 XY:±200V/18bit
Z:±200V/26bit
同時測定(データポイント) 4画面(最大2048×2048)
2画面(最大4096×4096)
長方形スキャン 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1024:1
測定パラメータ自動調整機能 RealTuneII
カンチレバー振幅、接触力、走査速度、フィードバックゲインの自動調整
ソフトウェア マルチレイヤー表示機能(測定/解析)、測定ナビゲーション機能、3Dオーバーレイ機能、スキャナ可動範囲/測定履歴表示機能、データ解析バッチ処理機能、探針評価機能
本体サイズ 220mm(W) × 500mm(D) × 385mm(H)、約15kg
電源 AC100V~240V±10%、単相

走査型プローブ顕微鏡のアプリケーションデータを、会員制情報サービスにて紹介します。ID登録されていない方は新規登録が必要です。

走査型トンネル顕微鏡(STM)や原子間力顕微鏡(AFM)など原理と各種モード原理の解説をします。

当社製AFMの最新技術や機能をご紹介しています。

AFMの観察例を画像データ中心にまとめました。

走査電子顕微鏡(SEM)と走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)の同一箇所解析評価事例をご紹介しています。

AFM関連の用語解説をまとめたオンライン辞書です。

AFM関連の参考文献・発表をまとめました。

AFMの歴史と当社装置の遷移を年表で解説しています。

走査型プローブ顕微鏡に関する保守・サービス情報をまとめています

関連情報

カタログ請求

お問い合わせ