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システムソリューション

CD-SEMとシステムソリューションの連携でR&Dから量産までお客様の計測作業をトータルサポート

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オフラインレシピ作成システム Recipe Director

オフラインレシピ作成システム
RecipeDirector

設計データの活用でウェーハやCD-SEMを使用せずにレシピを作成、HSS(Hitachi Spread Sheet)を用いた自動生成機能によりレシピ作成時間を大幅に短縮

レシピのリモート管理PC Data Station

レシピのリモート管理PC
Data Station

データステーションは、レシピをリモートで一括管理するためのPC。データステーション上でレシピ編集を行うことでCD-SEMの稼働率を向上

オフライン多機能測長システム DesignGauge-Analyzer Plus

オフライン多機能測長システム
DesignGauge-Analyzer Plus

OPCモデリングやプロセス評価など、大量データの測長に対応、計測作業の効率化を支援し、デバイス開発のリードタイム短縮に貢献

オフライン測長・解析 PC Terminal-PC

オフライン測長・解析 PC
Terminal-PC

CD-SEMと同様の測長環境をPC上に構築して再計測を実行、測長結果はMicrosoft Excelと連携し、スムーズなデータ解析を実現

オンライン高速・多項目計測システム MI-Boost

オンライン高速・多項目計測システム
MI-Boost

CD-SEMとの並列処理により、多項目・多点計測とリアルタイム通知を両立、デバイスパターンの変動を的確に捉え、品質管理の高度化を支援

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