量産ラインでは，製品ウェーハを高頻度に検査をすることで，検出したい欠陥（DOI：Defect of Interest）を見逃さない高速モニタリングが重視されます。パターン付きウェーハ欠陥検査装置ISシリーズは、プロセスで発生するパターンウエハ上の欠陥・異物を高感度・高速でモニタリングする事が可能です。200mmおよび300 mmウェーハの高感度・高速検査に加え、レシピ作成などユーザーフレンドリーな操作性により、パターン付きウェーハ検査工程の検査・管理コストの最適化に貢献致します。
取扱会社：株式会社 日立ハイテクノロジーズ
高感度検出と高スループット検査を両立
マルチモード検査機能搭載により検出能力向上
ユーザフレンドリな操作性
| ウェーハサイズ | φ200mm/300mm |
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