RecipeDirector / DesignGauge-AnalyzerPlus
RecipeDirector:
設計データ活用によりレシピをオフラインでウェーハを使わずに自動作成
DesignGauge-AnalyzerPlus:
CD-SEMで取得されたSEM画像の再計測輪郭線抽出の多機能データ解析ステーション
「RecipeDirector」特長
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レシピ作成に設計データを用いることで、アドレッシング点及びオートフォーカス点座標設定と計測カーソルボックス設定を自動で行う
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短時間でのレシピ作成とCD-SEMの稼働率向上に貢献
「DesignGauge-AnalyzerPlus」特長
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CD-SEMで取得されたSEM画像を基にし、オフライン再測長実行やパターンの輪郭線抽出等を素早く行える多機能な解析ステーション
関連リンク
