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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

プローブステーション AFM5000II/RealTune®II

進化した測定パラメータ自動調整機能を標準搭載するとともに、分かりやすさを追求したGUIに一新しました。これによりSPM初心者、また初めて測定する試料でも、再現性の高いデータが取得できます。

RealTune®II SIS Q CL

  • * RealTuneは株式会社日立ハイテクサイエンスの日本における登録商標です。

価格 AFM5100N/5200Sユニット用¥5,000,000~
AFM5300Eユニット用¥8,000,000~
(ディスプレイは別売りです)

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

    特長

    1. RealTune®II 新測定パラメータ自動調整機能

    • 独自の測定パラメータ自動調整機能がパワーアップ!
      カンチレバーの振動振幅や動作周波数など、主要なパラメータを予測し調整する新アルゴリズムを開発。 試料表面の形状、走査エリア、使用するカンチレバーやスキャナなどを総合的に評価し、 最適な測定条件を高効率・高精度に調整します。
    • 新たに振幅調整機能を付加した測定パラメータ自動調整機能 (RealTune®II)により、ワンクリック測定が可能となりました。熟練オペレータを必要とした測定が、初心者でも簡単に行えます。
    • パラメータの調整が難しい試料にも対応。

    新測定パラメータ自動調整機能

    従来方式
    繊細なパラメータ調整を必要とする、難しい試料。軟らかな繊維が変形し横筋が発生。

    新アルゴリズム
    最適なパラメータに自動調整し、複雑な繊維構造も変形させずに測定。

    【事例1】繊維状のカーボンナノチューブ構造体(ヤモリテープ)
    【事例1】繊維状のカーボンナノチューブ構造体(ヤモリテープ)
    【試料提供:日東電工株式会社様】

    従来方式
    表面が壊れやすい試料のため、横筋が多く、ステップの輪郭も不明瞭。

    新アルゴリズム
    最適なパラメータに自動調整し、分子レベルのステップ構造を安定して測定。

    【事例2】有機薄膜トランジスタ用多結晶膜(ペンタセン多結晶膜)
    【事例2】有機薄膜トランジスタ用多結晶膜(ペンタセン多結晶膜)
    【試料提供:神戸大学北村研究室】

    2. 新GUI(Graphical Use Interface)

    イージーメニュー

    • 見やすく分かりやすいアイコンと、厳選された情報表示で、初心者から上級者まで、もう操作に迷いません!
    • 測定と解析の作業領域をタブで切り替え、スッキリした画面に。広く有効に利用できます。

    セレクタ、ナビゲーション

    測定画面、解析画面

    3. 3Dオーバーレイ機能

    形状像と物性像を重ね合わせて表示し、さらに3D像として描画することができるので、物性の分布を視覚的に捉えることが可能です。

    MOSトランジスタの形状像とSNDM像の3D重ね合わせ

    4. 粗さ解析、断面プロファイル機能

    粗さ解析や断面プロファイル解析など、多彩な解析機能を備えています。

    粗さ解析、断面プロファイル機能

    5. コンパクト設計

    軽量化され、コンパクトになりました。設置場所を選びません。
    220mm(W)×500mm(D)×385mm(H)、約15kg

    コンパクト設計

     

    仕様

    仕様
    OS Windows 7
    接続機種 AFM5100N、AFM5200S、AFM5300E
    X, Y, Z走査電圧 XY:±200V/18bit
    Z:±200V/26bit
    同時測定(データポイント) 4画面(最大2048×2048)
    2画面(最大4096×4096)
    長方形スキャン 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1024:1
    測定パラメータ自動調整機能 RealTuneII
    カンチレバー振幅、接触力、走査速度、フィードバックゲインの自動調整
    ソフトウェア マルチレイヤー表示機能(測定/解析)、測定ナビゲーション機能、3Dオーバーレイ機能、スキャナ可動範囲/測定履歴表示機能、データ解析バッチ処理機能、探針評価機能
    本体サイズ 220mm(W) × 500mm(D) × 385mm(H)、約15kg
    電源 AC100V~240V±10%、単相

     

    アプリケーションデータ

    走査型プローブ顕微鏡のアプリケーションデータを、会員制情報サービスにて紹介します。ID登録されていない方は新規登録が必要です。

    原理解説

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