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Hitachi

電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

技術情報

レシピを活用したナノマテリアルの品質管理

AFMの一連の操作をワンボタンで行うことができます。

レシピの活用方法1 電動ステージによる連続測定

適用製品:

電動ステージに複数サンプルをセットし順番に測定することができます。

レシピの活用方法2 広域イメージから複数箇所の狭域の連続操作

AFMで広域を測定後、レシピを開き広域イメージ上の任意の領域をマウス操作で指定して複数箇所の狭域測定を連続して行うことができます。

レシピの活用方法3 小型ユニットでも測定効率向上

適用製品:

小型ユニットなど小片サンプルを交換しながら測定する場合でもサンプルごとにレシピを作成しておくことでワンボタンで操作を行うことが可能です。

測定事例

ナノ粒子計測、基板やフィルムの粗さなどの品質管理に活用できます。

その他の特長

ナノ粒子計測、基板やフィルムの粗さなどの品質管理に活用できます。

  • Qカーブの測定条件もレシピに設定可能
  • サンプルごとに設定した固定パラメータでのルーチン測定のほか、レシピ中で測定パラメータの自動調整機能RealTuneⅡも実施可能
  • レシピで測定した全ての粗さ解析結果をCSVファイルで出力可能
  • より高度な解析にはオフラインソフトを活用した自動解析手法のご提案も致します。

アプリケーション

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)のアプリケーション(測定事例)を紹介しています。

分野別

モード別

データギャラリー

製品ユーザー向け情報

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走査型プローブ顕微鏡スクール

走査型プローブ顕微鏡スクールのご案内です。SPM/AFMの概要、測定原理から実機の操作方法といったを中心にした、初心者の方に最適な内容です。

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