ショットキー走査電子顕微鏡 SU5000

特長

あらゆるユーザーに高分解能・再現性・スループットを提供する、新開発ユーザーインターフェース「EM Wizard」

サンプルへの制限を極力低減したデザイン

• 大型試料（～200 mmΦ、～80 mmH）対応のドローアウト試料室を採用、試料室を開放しても対物絞りの汚染に配慮した構造です
• 加熱・引張りステージなどの特殊アプリケーションにも簡便に対応可能
• コニカル対物レンズにより、大型磁性体試料観察やEBSD測定もよりスムーズに行えます

強力な光学系・検出系

• 低エネルギー観察時の分解能は1.6 nm@1 kV^*1
• 高真空/低真空ともに照射電流は最大200 nA以上^*2
• 形状・組成・結晶学的情報を抽出する新開発反射電子検出器搭載^*3

*1：

EXリターディングモード＋TOP検出器オプション搭載時

*2：

低真空モードはオプションです

*3：

反射電子検出器はオプションです（低真空モード構成では標準付属）

仕様

項目		内容
保証分解能		1.2 nm（加速電圧30 kV） 3.0 nm（加速電圧1 kV） 2.0 nm（照射電圧1 kV：リターディングモード：オプション） 1.6 nm（照射電圧1 kV：EXリターディングモード：オプション） 3.0 nm（加速電圧15 kV：低真空モード：オプション）
倍率		写真倍率：10～600,000x モニター倍率：18～1,000,000x （800×600画素）
電子銃	電子銃	ZrO/Wショットキーエミッション電子銃
	加速電圧	0.5～30 kV（0.1 kVステップ）
	照射電圧	0.1～20 kV（リターディングモード：オプション）
	最大照射ビーム電流	200 nA以上
検出器		高真空用シンチレータ/ホトマルチプライヤー二次電子検出器（Lower検出器）
低真空モード*2		圧力可変範囲：10～300 Pa
試料ステージ	ステージ制御	5軸モータ駆動
	移動範囲	X：0～100 mm Y：0～50 mm Z：3～65 mm T：-20～90° R：360°
	試料サイズ	最大～200 mmΦ、最高～80 mm
検出器オプション		高真空用シンチレータ/ホトマルチプライヤー二次電子検出器（Top検出器）＊1 高感度低真空検出器（UVD） リトラクタブル半導体形反射電子検出器（PD-BSD）*2 エネルギー分散型X線検出器（EDS） 波長分散型X線検出器（WDS） 後方散乱電子回折図形検出器（EBSD）

*1：

リターディングモードと組み合わせ

*2：

低真空モード付属の場合は標準検出器です

観察例

生物

材料

加熱ステージを使用してのその場観察

試料：金薄膜

試料ご提供：東京工業大学 機械制御システム専攻 吉野雅彦様 寺野元規 様

リチウムイオン材料の3D観察 SBF-SEMの材料科学への応用

半導体

Si上のn-GaN