SU5000 & EM Wizardが創造するFE-SEMの新たな世界。
SEMを初めて使用されるユーザーに対しても「美しい像が得られる体験」、そして一人で習熟・熟達していける「成功体験」、熟達したユーザーにも豊富な機能で提供する新たな「体験」。
EM Wizardはさまざまな“User Experience”を提供し、新たなSEMの楽しさ、面白さを拓きます。
価格:お問い合わせください
取扱会社:株式会社 日立ハイテク
EMWizadのスタンダードモードでは使用される頻度の高い5つのビーム/検出器条件を用意。
選択画面から条件を選択することで光軸調整などの作業なしにベストな光学条件で画像を取得
スタンダードモード:条件選択画面
試料位置表示をよりわかりやすく表示する「マルチファインダー」搭載
マルチファインダーを使用した試料位置の表示。傾斜/回転に追随してSEM像やホルダ像が移動し、容易な視野探しをサポートします。
項目 | 内容 | |
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保証分解能 | 1.2 nm(加速電圧30 kV) 3.0 nm(加速電圧1 kV) 2.0 nm(照射電圧1 kV:リターディングモード:オプション) 1.6 nm(照射電圧1 kV:EXリターディングモード:オプション) 3.0 nm(加速電圧15 kV:低真空モード:オプション) |
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倍率 | 写真倍率:10~600,000x モニター倍率:18~1,000,000x (800×600画素) |
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電子銃 | 電子銃 | ZrO/Wショットキーエミッション電子銃 |
加速電圧 | 0.5~30 kV(0.1 kVステップ) | |
照射電圧 | 0.1~20 kV(リターディングモード:オプション) | |
最大照射ビーム電流 | 200 nA以上 | |
検出器 | 高真空用シンチレータ/ホトマルチプライヤー二次電子検出器(Lower検出器) | |
低真空モード*2 | 圧力可変範囲:10~300 Pa | |
試料ステージ | ステージ制御 | 5軸モータ駆動 |
移動範囲 | X:0~100 mm Y:0~50 mm Z:3~65 mm T:-20~90° R:360° |
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試料サイズ | 最大~200 mmΦ、最高~80 mm | |
検出器オプション |
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反射電子像:2 kV(切片試料)
試料ご提供:自然科学研究機構 生理学研究所
大脳神経回路論研究部門
窪田 芳之 様
二次電子像:5 kV
試料ご提供:新潟大学大学院医歯総合研究所
甲賀大輔 様*、 牛木辰男 様
二次電子像:照射電圧=0.5 kV/200 kX
反射電子像:2 kV
散乱角選択が可能な反射電子検出器を搭載。
組成と形状を弁別した像取得が可能です。
左:組成コントラスト主体で粒界相が明瞭に観察されています。
右:形状主体のコントラストにより微細な形状差が観察されています。
試料:金薄膜
試料ご提供:東京工業大学 機械制御システム専攻 吉野雅彦様 寺野元規 様
視野領域 : 350 µm × 90 µm
3次元再構築像
橙:活物質、青:PvdF
貫通転位と原子ステップの観察
反射電子像:15 kV
試料ご提供:国立大学法人 名古屋工業大学
極微デバイス研究センター機能システム 教授
江川 孝志 様