高性能を、ここまで使いやすく、ここまで多用途に
日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800 / SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。
数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。
多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。
■可動範囲を全域サポート、大型試料の全域観察を実現したSEM MAP
*オプション
画面をタッチするようにクリックするだけの、簡単操作を実現したシンプルGUIを搭載しています。
Zigzag機能は連続した視野を自動的に取得できます。Multi Zgzagは試料台上の複数の箇所でZigzag設定が可能で、複数枚の高倍率画像を異なる視野で撮影でき、取得した画像をViewer機能でつなぎ合わせることで広域画像を作成できます。
*オプション
大型多目的対応チャンバを標準搭載。In-Situ解析にも対応しています。
SU3800/SU3900 のために、新たに開発されたSEM/EDSインテグレーションシステムは、SEM側から解析個所の決定、条件設定、分析、レポートと一連の操作を一体化しました。SEM側からすべてをコントロールすることによって、スループットを向上し、オペレーターの負担を軽減します。
4分割+1素子のデザインを採用し、素子ごとの演算を行うことで組成像や3D像、さらに試料の回転を行うことなく4方向からの凹凸像観察が行えます。検出器のスリム化と高感度化により、高分解能/高S/N化を実現しています。
Hitachi map 3Dは、SU3800/SU3900に搭載された4分割反射電子検出器によって取得した、方向が異なる4つのSEM像を演算して3Dモデルを構築します。2点間の高さ寸法計測や体積測定、簡易表面粗さ(面粗さ、線粗さ)などの計測が可能。4つのSEM画像は1度に検出されるため、試料傾斜、複数画面の視野合わせが必要ありません。
SU3800/SU3900は、米国Media Cybernetics社製画像処理ソフトウェアImage-Pro®にSEM画像を転送する機能IPIを搭載しています。SEM画像から高機能な画像計測ソフトウェアにワンクリックでデータを移行できます。
項 目 | SU3800 | SU3900 | |
---|---|---|---|
二次電子分解能 | 3.0nm(加速電圧30kV、WD=5mm、高真空モード) | ||
15.0nm(加速電圧1kV、WD=5mm、高真空モード) | |||
反射電子分解能 | 4.0nm(加速電圧30kV、WD=5mm、低真空モード) | ||
観察倍率 | ×5~×300,000(写真倍率*1) | ||
×7~×800,000(実表示倍率*2) | |||
加速電圧 | 0.3kV~30kV | ||
低真空度設定 | 6~650 Pa | ||
イメージシフト | ±75µm(WD=10mm) | ||
最大試料寸法 | 200mm径 | 300mm径 | |
試料ステージ | X | 0~100mm | 0~150mm |
Y | 0~50mm | 0~150mm | |
Z | 5~65mm | 5~85mm | |
R | 360°連続 | ||
T | -20°~+90° | ||
最大観察可能範囲 | 130mm径(R併用) | 200mm径(R併用) | |
最大観察可能高さ | 80mm(WD=10mm) | 130mm(WD=10mm) | |
モータドライブ | 5軸モーター駆動 | ||
電子光学系 | 電子銃 | プリセンタードカートリッジタイプタングステンヘアピンフィラメント | |
対物レンズ絞り | 4孔可動絞り | ||
検出系 | 二次電子検出器、高感度半導体反射電子検出器 | ||
EDX分析WD | WD=10mm(T.O.A=35°) | ||
画像表示 | 自動軸調整機能 | ビーム調整オート(AFS→ABA→AFC→ABCC) | |
光軸調整(カレントアライメント)オート | |||
ビームブライトネスオート | |||
自動画像調整機能 | オートブライトネス&コントラストコントロール(ABCC) | ||
オートフォーカスコントロール(AFC) | |||
オートスティグマ&フォーカス(ASF) | |||
オートフィラメントサチュレーション(AFS) | |||
オートビームアライメント(ABA) | |||
オートスタート(HV-ON→ABCC→AFC) | |||
操作補助機能 | ラスターローテーション、ダイナミックフォーカス、画質改善機能、データ入力(2点間計測、角度計測、文字)、プリセット倍率、ステージ位置ナビゲーション機能(SEM MAP)、ビームマーキング機能 | ||
オプション | ■ハードウェア:トラックボール、ジョイスティック、操作パネル、コンプレッサ、高感度低真空検出器(UVD)、チャンバスコープ、カメラナビゲーションシステム ■ソフトウェア:SEM Data Manager、外部通信インターフェース、3D-Capture、ステージ移動制限解除機能、EDSインテグレーション | ||
オプション(外部装置) | エネルギー分散型X線分析装置(EDS)、波長分散型X線分析装置(WDS)、 各種外部ステージ(加熱ステージ、冷却ステージ、引っ張りステージ) |
*1:127mm×95mm(4×5写真サイズ)を表示サイズとして倍率を規定。
*2:509.8 mm×286.7 mm(1,920×1,080の画素表示)を表示サイズとして倍率を規定。