日立イオンミリング装置の最上位機種。
ついにクラス最速の断面ミリングレート を達成しました。
高スループット断面ミリングによって、電子顕微鏡用の断面試料作製がさらに身近になりました。
価格：お問い合わせください
取扱会社：株式会社 日立ハイテクノロジーズ
イオンビームのさらなる高電流密度化を図った新開発のPLUSIIイオンガンによりミリングレートが大幅に向上*2しました。
断面ミリング結果比較
（試料：シャープペンシルの芯、ミリング時間：1.5時間）
当社製品IM4000PLUS
ArBlade 5000
ワイドエリア断面ミリングホルダにより断面ミリング加工幅を8 mmまで拡張できるので、広領域ミリングが必要とされる電子部品などには有効です。
IM4000シリーズで定評のあるハイブリッドタイプ（断面ミリング、フラットミリング®）のイオンミリング装置です。
これにより目的に応じた試料前処理が可能です。
割断や機械研磨では困難な柔らかい材料や複合材料の断面作製
機械研磨試料の最終仕上げや試料表面の清浄化
断面ミリング概略図
フラットミリング概略図
冷却温度調整機能付きArBlade5000
イオンビーム照射による試料の温度上昇が原因で、加工中に融解や変形する試料に有効なシステムです。過冷却による試料の割れなどを生じる試料には、冷却温度の調整機能によって、過冷却による試料の割れなどを防止することも可能です。
試料：ウッド合金
常温ミリング
冷却ミリング
最大100倍でミリング中の試料を観察できる実体顕微鏡です。
CCDカメラ*2が搭載できる三眼タイプではモニター観察が可能です。
右図の三眼タイプの他に双眼タイプも準備しています。
加工時観察用実体顕微鏡
（三眼タイプ）
| 共通 | |
|---|---|
| 使用ガス | Ar（アルゴン）ガス |
| 加速電圧 | 0～8 kV |
| 断面ミリング | |
| 最大ミリングレート（材料Si） | 1 mm/hr*1 以上 |
| 最大ミリング幅 | 8 mm*2 |
| 最大試料サイズ | 20(W) × 12(D) × 7(H) mm |
| 試料移動範囲 | X ±7 mm、Y 0～+3 mm |
| イオンビーム間欠照射機能 | 標準装備 |
| スイング角度 | ±15°、±30°、±40° |
| 平面ミリング | |
| 最大加工範囲 | φ32 mm |
| 最大試料サイズ | φ50 × 25(H) mm |
| 試料移動範囲 | X 0～+5 mm |
| イオンビーム間欠照射機能 | 標準装備 |
| 回転速度 | 1 r/m、25 r/m |
| 傾斜角度 | 0～90° |
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 冷却温度調整機能*3 | 液体窒素による間接試料冷却、温度設定範囲：0°C～-100°C |
| 高ビーム耐性マスク（Co-Zero®）*4 | 標準マスク比で約2倍のビーム耐性マスク（コバルト不含有） |
| 加工モニタリング用顕微鏡 | 倍率 15×～100× 2眼タイプ、3眼タイプ（CCD対応） |
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