고분해능 쇼트키 주사전자현미경
SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus

요구되는 고성능과 범용성을 융합한 SE시리즈

SU3900/SU3800SE Series는 FE-SEM으로서 충분한 고분해능 관찰 성능을 보유하면서도, 범용 SEM처럼 시료의 크기나 무게에 대한 제약 없이 간편한 조작으로 데이터를 획득할 수 있도록 설계된 제품입니다.철강과 같은 산업용 소재나 자동차·항공 관련 부품 등, 크고 무거운 시료의 관찰에도 적합합니다.

또한 다양한 분야에서의 측정 요구에 대응하기 위해, SE Series는 총 4가지 모델(2가지 타입, 2가지 등급)로 구성되어 있습니다.

자부품 및 반도체를 포함한 다양한 소재의 고기능화 및 고성능화를 위한 미세구조 제어뿐만 아니라, 제품 품질 향상을 위한 이물질 및 불량 분석 등 다양한 용도에 맞추어 최적의 모델을 선택할 수 있습니다.

* The device photograph shows configuration with optional items.

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특징 애플리케이션 사례 사양

특징

: 전자현미경을 이용한 형상 평가는 모든 재료 평가 및 분석의 출발점이기도 하며, 가능한 한 본래의 형상을 유지한 상태로 시료를 장착하여 관찰하고자 하는 요구는 항상 존재합니다.
SU3900/SU3800SE Series는 비전도성 시료에 대해 도전성 처리(금속 코팅)를 하지 않고도 관찰할 수 있으며, 대형·중량 시료에 대해서는 절단 등의 파괴 처리를 하지 않고 그대로 시료대에 장착하여 다양한 각도에서 관찰할 수 있는 고강성 다목적 시료실을 갖추고 있습니다.

SU3900SE/SE Plus

Φ300 mm 웨이퍼 탑재 예

H130 mm 금속 부품 장착 예

옵션 시료 교환기를 사용하는 경우에도 높이 45 mm까지의 시료를 장착할 수 있습니다.

시료 교환 지원 소개

시료 교환 시퀀스 및 인터록 등을 통해 휴먼 에러를 줄일 수 있습니다.
시료 교환 과정을 동영상으로 확인하실 수 있습니다.
: 관찰 가능한 전체 영역을 커버하는 카메라 내비게이션 시스템을 탑재했습니다.광학 카메라 이미지를 통해 SEM의 시야를 쉽게 찾을 수 있습니다.
카메라 내비게이션 시스템을 이용하여 시야를 찾는 과정을 동영상으로 확인하실 수 있습니다.
: 자동 조정 기능은 안정적인 이미지 획득을 지원합니다. FE-SEM을 사용해 본 적이 없는 분도 광학계 등의 조정을 쉽게 수행할 수 있습니다.
자동 조정을 실행하는 모습을 영상으로 확인하실 수 있습니다.
: 신개발 쇼트키 전자총을 탑재함으로써, 고가속 전압 및 저가속 전압 영역 모두에서 해상도를 향상시켰습니다. 또한, 극표면의 상세 관찰 요구에 대응하기 위해 어드밴스드 모델(SE Plus)도 준비하였습니다.
또한, 조성 및 요철 정보 취득을 위해 신호 전환이 가능한 저가속 고감도 반사전자 검출기를 표준 탑재하였습니다. 옵션인 UVD 검출기와 함께 다양한 정보를 활용한 다면 분석이 가능합니다.
: 옵션 기능인 [EM Flow Creator]를 사용함으로써, 연속 이미지 취득 등의 작업 자동화를 지원합니다.
배율이나 스테이지 위치 등의 조건 설정, 포커스/콘트라스트 조정 등의 SEM 기능을 블록화하고, 이를 자유롭게 조합함으로써 일련의 관찰 레시피를 생성하여 고객별 맞춤 관찰 레시피를 작성할 수 있습니다.
레시피는 블록을 드래그 앤 드롭하여 흐름 형태로 배치함으로써 생성할 수 있으며, 생성된 레시피를 실행함으로써 자동 관찰이 가능합니다.

①지정된 영역을 식별하고, 저배율 이미지(×300)를 촬영
②동일 부위의 중배율 이미지(×1,000)를 촬영
③동일 부위의 고배율 이미지(×5,000)를 촬영
: 관찰 조건 설정이 복잡해 어려움을 겪고 계신가요?
관찰 조건 설정 기능을 사용하면, 목적에 맞는 최적의 조건으로 관찰이 가능합니다.
실제 조작 모습을 영상으로 확인하실 수 있습니다.

많은 사용자가 사용하는 장비의 관리에 불안은 없으신가요?
사용자 권한 설정 기능을 사용하면, 작업자별로 사용할 수 있는 기능을 제한할 수 있어 오조작에 의한 휴먼 에러를 줄일 수 있습니다.
권한 설정 과정을 영상으로 확인하실 수 있습니다.

애플리케이션 사례

철선재 파단면
연성 파괴에 의해 형성된 미세 공공이 확인됩니다.

SUS316
전위를 시사하는 선형 콘트라스트가 확인됩니다.

전자 기판
저배율 및 고경사 관찰을 통해
실장 부품의 입체 형상과 배치를 확인할 수 있습니다.

적층 세라믹 커패시터 단면
니켈 전극/유전체층의 조성 및 결정 콘트라스트를 관찰할 수 있습니다.

산화아연 입자
약 50 nm 정도의 미세 입자와 입체적인 형상을 확인할 수 있습니다.

High Entropy Carbide Film
조성 및 형상이 서로 다른 여러 입자의 분포를 확인할 수 있습니다.

리튬이온 배터리 양극재
양극재 입자와 주변 바인더의 분포를 확인할 수 있습니다.

리튬이온 배터리 음극재
음극재의 극최표면에 존재하는 바인더를 확인할 수 있습니다.

사양

Item			SU3900SE/SE Plus	SU3800SE/SE Plus
Electron Optics	Secondary Electron Image resolution		0.9 nm@30 kV
			2.5 nm@1 kV
			1.6 nm@1 kV (^1) (^2)
	Magnification		5～600,000×
	Electron Gun		ZrO/W Schottky Emitter
	Accelerating Voltage		0.5 kV～30 kV
	Landing Voltage (^1) (^2)		0.1 kV～2 kV
	Probe Current		Max. 150 nA
Pressure Range	Variable Pressure (VP) mode		6 to 150 Pa
Detectors	Standard Detectors		Secondary Electron Detector (SED)
			TOP detector (TD) (^*2)
			41+1-segment Semiconductor Type Backscattered Electron Detector (BSED)
	Optional Detector (^*3)		Ultra Variable Pressure Detector (UVD)
	Optional Accessories (^*4)		Energy dispersive X-ray detector (EDS) Electron Backscattered Diffraction Detector (EBSD)
Specimen Stage	Stage Control		5-axis Motor Drive
	Movable Range
		X	0～150 mm	0～100 mm
		Y	0～150 mm	0～50 mm
		Z	3～85 mm	3～65 mm
		T	-20～90°
		R	360°
Specimen Chamber	Mountable Specimen Size		Max. φ 300 mm Height: 130 mm	Max. φ 200 mm Height: 80 mm