초고분해능 Schottky 주사전자현미경 SU8700
특징
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- 10 V*까지의 저가속 전압과 최대 200 nA까지의 조사전류
- 저진공 모드에서도 사용 가능
- 다양한 정보를 취득하는 검출계
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SU8700은 광학계 자동 조정 기능을 탑재하고 있어 사용자의 조작 부하를 줄여줍니다. 또한 옵션 기능인 ‘EM Flow Creator’는 연속 화상 취득과 같은 자동 조작을 지원합니다. 배율이나 스테이지 위치 등의 조건 설정, 포커스/Contrast 조정 같은 SEM 기능을 블록화하고 이를 조합하여 일련의 관찰 레시피를 생성합니다.블록을 드래그 앤드 드롭한 다음 플로우와 같이 배치하여 레시피를 생성하고 이 레시피를 실행하여 자동관찰을 시작합니다.
*옵션
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챔버 스코프(*) 또는 SEM MAP을 포함한 1개, 2개, 4개 또는 6개의 신호를 하나의 모니터에 동시에 표시할 수 있습니다. 두 번째 모니터를 추가하면 작업 공간이 더욱 확장되어 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 듀얼 모니터 환경에서는 조작 패널의 서브메뉴를 각 화면의 원하는 위치에 자유롭게 배치할 수 있어 사용자 맞춤형 작업 환경을 구현할 수 있습니다.
내장형 광학 카메라가 시료 홀더의 전체 이미지를 촬영하며, 촬영된 이미지는 SEM MAP 화면으로 자동 전송됩니다. 그래픽 기반의 내비게이션 인터페이스를 통해 관심 영역(ROI)에 빠르게 접근할 수 있습니다.카메라 내비게이션*
GUI에 통합된 챔버 스코프는 시료의 위치를 실시간으로 표시하여 안전한 조작을 지원합니다. 화면은 흑백 또는 컬러로 전환할 수 있으며, 별도의 독립 창으로도 표시할 수 있습니다.챔버 스코프*
챔버 및 포트 배치
시료 교환 챔버는 최대 직경 Φ150 mm의 대형 시료를 수용할 수 있습니다. 개선된 챔버 설계에 다수의 EDS 포트를 배치하여 다양한 분석 요구에 대응할 수 있는 유연한 분석 플랫폼을 제공합니다. (장비 이미지에는 옵션이 포함되어 있습니다.)
*옵션
응용 데이터
반도체
7 nm 공정 SRAM의 전압 콘트라스트 이미지
SEM에서 전압 콘트라스트는 반도체 디바이스 평가에 매우 유용한 기법입니다. 디바이스 구조는 층별로 달라지므로 가속 전압과 콘트라스트 등 SEM 조건도 최적화해야 합니다.
SU8700은 스테이지 바이어스 없이 0.01 kV*까지 낮은 전압 범위를 제공하여 이러한 요구에 대응합니다. 왼쪽 이미지는 디바이스 구조 분석에 적용한 VC 기능을 보여 주기 위해 300 V에서 취득한 이미지입니다.
3D NAND 플래시 메모리 평면 이미지
이 이미지는 3D NAND의 메모리 셀 구조 분석 결과를 보여 줍니다.
이 데이터는 매우 얇은(<10 nm) 질화막, 산화막 및 폴리 Si 층으로 구성된 구조를 명확하게 보여 줍니다.
SU8700의 높은 검출 효율은 커패시터 구조 이해에 중요한 이러한 특징을 정밀하게 분석할 수 있도록 합니다.
*옵션
재료 과학
강재의 템퍼드 마르텐사이트
금속 합금의 상세 평가는 다양한 산업에서 중요합니다. 왼쪽 두 이미지는 SU8700의 분석 성능을 보여 줍니다.
UD로 2차 전자 이미지를 취득하면 결정립계 석출물이 선명하게 관찰됩니다. 왼쪽 아래에서는 BSE 채널링 콘트라스트로 결정립 크기와 변형을 구분할 수 있으며, 오른쪽 아래에서는 동일 방법으로 일부 결정립 내 결정 결함을 확인할 수 있습니다.
시료 제공: 도쿄대학교 Shoichi Nambu 박사
코어-쉘 구조를 포함한 나노입자
현대의 많은 나노입자는 기능 발현에 중요한 코어-쉘 구조를 포함합니다.
형태 평가뿐 아니라 기능 특성 평가에서도 코어와 쉘의 크기를 모두 측정하는 것이 중요합니다.
위 왼쪽 이미지는 SE 신호(UD)를 통해 미세한 표면 구조를 보여 줍니다. 오른쪽 이미지는 BSE 신호(MD)를 통해 코어(Ag)와 쉘(SiO2)을 쉽게 구분할 수 있음을 보여 줍니다.
생명 과학
애기장대(Arabidopsis thaliana)의 미세구조
시료 제공: RIKEN CSRS Kiminori Toyooka 박사
위 이미지는 애기장대 초박절편의 반사전자 이미지입니다. TEM과 유사한 화질을 보여 주기 위해 가속 전압 2 kV에서 취득했습니다. 에너지 필터링 BSE 검출을 통해 오른쪽 이미지에서 틸라코이드 막과 같은 미세구조를 선명하게 관찰할 수 있습니다.
넓은 시야 + 고화소 해상도의 랫드 대뇌피질
랫드 전뇌 초박절편에서 취득한 3장의 반사전자 이미지는 SU8700의 이미지 취득 성능을 보여 줍니다.
왼쪽 위 이미지는 >120 µm 시야(FOV)에서 취득했습니다.
노란색 사각형 영역은 디지털 배율을 높여 왼쪽 아래 이미지에 표시했습니다.
오른쪽 아래 이미지는 왼쪽 아래 이미지를 추가로 디지털 확대 및 크롭한 것입니다.
원본 이미지를 20배 이상 확대해도 세포소기관 구조가 선명하게 보이며 높은 화질이 유지됩니다.
SU8700은 최대 40,960 × 30,720 픽셀의 고화소 해상도 이미지 취득을 지원합니다(*).
시료 제공: 일본 생리학연구소 전자현미경실 Yoshiyuki Kubota 박사
*옵션
사양
| 전자광학계 | 2차 전자 분해능 | 0.6 nm@15 kV |
|---|---|---|
| 0.8 nm@1 kV | ||
| 0.9 nm@0.3 kV | ||
| 배율 | 20~2,000,000 x | |
| 전자총 | Schottky Emitter | |
| 가속전압 | 0.1～30 kV 0.01～30 kV(*3) |
|
| 조사전압*1)(*3) | 0.01~7 kV | |
| 조사전류 | 최대 200 nA | |
| 표준 검출기 | Upper 검출기(UD) | |
| Lower 검출기(LD) | ||
| Middle 검출기(MD) | ||
| 검출기 | 옵션 검출기 | 반도체형 반사 전자 검출기(PD_BSED) |
| 고감도 저진공 검출기(UVD) | ||
| STEM 검출기 | ||
| 옵션 액세서리(*2) | 에너지 분산형 X선 검출기(EDS) | |
| 전자선 후방 산란 회절 이미지 검출기(EBSD) | ||
| 진공계 | 저진공 모드(*3) | 5~300 Pa |
| 제어 | 5축 모터 드라이브 | |
| 시료 스테이지 | 가동 범위 | |
| X | 0~110 mm | |
| Y | 0~110 mm | |
| Z | 1.5~40 mm | |
| T | -5~70° | |
| R | 360° | |
| 시료실 | 탑재 시료 사이즈 | 최대 φ150 mm |
| 시료 교환실 | 최대 φ150 mm |
*1 감속 모드 사용 시
*2 장착 가능한 분석기기
*3 옵션
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