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Hitachi High-Tech Korea Co.,Ltd.
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Probe Station AFM5000II / RealTuneII

Probe Station AFM5000II / RealTuneII

진화한 측정 파라미터 자동 조정 기능을 표준 탑재함과 더불어, 쉬운 GUI로 새롭게 단장했습니다. 이를 통하여 SPM 초심자는 물론 처음 측정하는 시료까지 재현성 높은 데이터를 취득할 수 있습니다.

특징

새로운 RealTuneII 측정 파라미터 자동 조정 기능

  • 독자적인 측정 파라미터 자동 조정 기능이 한층 업그레이드되었습니다.
    Cantilever의 진동 진폭이나 동작 주파수 등 주요한 파라미터를 예측하여 조정하는 알고리즘을 새롭게 개발하였습니다. 시료 표면의 형상, 주사 영역, 사용 중인 Cantilever나 Scanner 등을 종합 평가하여 높은 효율과 정밀도로 최적의 측정 조건을 조정합니다.
  • 진폭 조정 기능을 새롭게 추가한 측정 파라미터 자동 조정 기능 (RealTuneII) 을 통하여 One-Click 측정이 가능해졌습니다. 이제는 숙련된 Operator 없이 초심자도 간단히 측정할 수 있습니다.
  • 파라미터 조정이 어려운 시료도 대응가능.
새로운 측정 파라미터 자동 조정 기능

기존 방식
섬세한 파라미터 조정을 필요로 하는 고난도 시료. 연한는 섬유가 변형되어 가로줄 발생.

새로운 알고리즘
최적의 파라미터로 자동 조정하여 복잡한 섬유 구조도 변형시키지 않고 측정.

[사례 1] 섬유장의 Carbon Nano Tube 구조체 (Gecko Tape)
[사례 1] 섬유장의 Carbon Nano Tube 구조체 (Gecko Tape)
[시료 제공: 닛토전공 주식회사]

기존 방식
표면이 부서지기 쉬운 시료이므로 가로줄이 많고, Step의 윤곽도 명확하지 않다.

새로운 알고리즘
최적의 파라미터로 자동 조정하여 분자 레벨의 Step 구조를 안정적으로 측정하였다.

[사례 2] 유기박막 Transistor 용 다결정막 (Pentacene 다결정막)
[사례 2] 유기박막 Transistor 용 다결정막 (Pentacene 다결정막)
[시료 제공: 고베 대학 키타무라 연구실]

새로운 GUI (Graphical Use Interface)

Easy Menu

  • 시인성이 좋고 이해하기 쉬운 아이콘과 엄선된 정보 표시를 통해 초심자부터 상급자까지 간편하게 조작할 수 있습니다.
  • 측정과 해석의 작업 영역을 Tab으로 전환하여 화면을 넓고 쾌적하게 활용할 수 있습니다.
Selector, Navigation
측정 화면, 해석 화면

3D 오버레이 기능

형상 Image와 물성 Image를 Overlay로 표시하여 더욱 정확한 3D Image 취득이 가능하여, 물성 분포를 시각적으로 파악할 수 있습니다.

MOS Transistor의 형상 Image와 SNDM Image의 3D Overlay

Roughness 해석, 단면 Profile 기능

Roughness 해석이나 단면 Profile 해석 등 다양한 해석 기능을 구비하고 있습니다.

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콤팩트 설계

경량화를 통하여 콤팩트해졌으며, 어디에나 설치 가능합니다.
220 mm (W) × 500 mm (D) × 385 mm (H), 약15 kg

콤팩트 설계

사양

OS Windows 7
접속 기능 AFM5100N, AFM5200S, AFM5300E
X, Y, Z주사 전압 XY: ±200 V / 18 bit
Z: ±200 V / 26 bit
동시 측정 (Data Point) 4화면 (최대2048 × 2,048)
2화면 (최대4096 × 4,096)
장방형 Scan 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
측정 파라미터 자동 조정 기능 RealTuneII
Cantilever 진폭, 접촉력, 주사 속도, Feedback Gain의 자동 조정
소프트웨어 Multi-Layer 표시 기능 (측정/해석), 측정 Navigation 기능, 3D Overlay 기능, Scanner 가동 범위/측정 이력 표시 기능, Data 해석 일괄 처리 기능, 탐침 평가 기능
본체 사이즈 220 mm (W) × 500 mm (D) × 385 mm (H), 약15 kg
전원 AC100 V~240 V±10%, 단상

Introducing Application Note of our Atomic Force Microscope (AFM).

This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.

Describing basic principles and multiple function principles of Scanning Tunnel Microscope (STM), Atomic Force Microscope (AFM) etc.

The trademark that represents our strong bond with the customer and shows our pledge to connect science and society to create new value.

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