SU5000 & EM Wizard가 창조하는 FE-SEM의 새로운 세계
SEM을 처음 사용하는 사용자에게도 「아름다운 Image를 얻을 수 있다는 체험」, 혼자서 성취하고 숙달될 수 있다는 「성공 체험」, 그리고 숙달된 사용자에게도 풍부한 기능을 제공하는 새로운 「체험」.
EM Wizard는 다양한 “User Experience”의 제공을 통하여 새로운 SEM의 즐거움과 재미를 개척하겠습니다.
EM Wizard의 Standard Mode에서는 사용 빈도가 높은 5개의 Beam / 검출기 조건을 준비했습니다.
선택 화면에서 조건을 선택함으로써 광축 조정 등의 작업 없이 최적의 광학 조건으로 Image를 취득할 수 있습니다.
Standard Mode: 조건 선택 화면
시료 위치를 더욱 알기 쉽게 표시하는 「Multi Finder」 탑재
Multi Finder를 사용하여 시료의 위치를 표시. 경사 / 회전을 추적하여 SEM Image나 Holder Image를 이동하며, 시야 찾기가 용이하도록 서포트합니다.
항목 | 내용 | |
---|---|---|
보증분해능 | 1.2 nm (가속 전압30 kV) 3.0 nm (가속 전압1 kV) 2.0 nm (조사전압1 kV: Deceleration Mode: 옵션) 1.6 nm (조사전압1 kV: EX Deceleration Mode: 옵션) 3.0 nm (가속 전압15 kV: 저진공 모드: 옵션) |
|
배율 | 사진 배율: 10~600,000× 모니터 배율:18~1,000,000× (800 × 600화소) |
|
전자총 | 전자총 | ZrO / W Schottky Emission 전자총 |
가속 전압 | 0.5~30 kV (0.1 kV Step) | |
조사전압 | 0.1~20 kV (Deceleration Mode: 옵션) | |
조사 Beam 전류 | 최대 200 nA | |
검출기 | 고진공용 Scintillator / Photomultiplier 2차전자검출기 (Lower 검출기) | |
저진공 모드*2 | 압력 가변 범위: 10~300 Pa | |
시료 Stage | Stage 제어 | 5축 모터 구동 |
이동범위 | X: 0~100 mm Y: 0~50 mm Z: 3~65 mm T: -20~90° R: 360° |
|
시료 사이즈 | 최대 ~200 mmΦ, 최고 ~80 mm | |
검출기 옵션 |
|
반사전자 Image: 2 kV (절편 시료)
시료 제공: 자연과학연구기구 생리학연구소
대뇌신경회로론 연구 부문
쿠보타 요시유키 준교수
2차전자 Image: 5 kV
시료 제공: 니가타 대학 대학원 치아종합연구소
코가 다이스케 준교수*, 우시키 타츠오 교수
2차전자 Image: 조사 전압=0.5 kV / 200 kX
반사전자 Image: 2 kV
산란각 선택이 가능한 반사전자검출기를 탑재.
조성과 형상을 변별한 Image 취득이 가능합니다.
왼쪽: 조성 Contrast 주체로 입계상이 명료하게 관찰되고 있습니다.
오른쪽: 형상 주체의 Contrast를 통해 미세한 형상차가 관찰되고 있습니다.
시료: 금 박막
시료 제공: 도쿄공업대학 기계제어시스템 전공 요시노 마사히코 교수, 테라노 모토키 조교
시야영역: 350 µm × 90 µm
3차원 재구축 Image
귤색: 활물질, 파란색: PvdF
관통전위와 원자 Step의 관찰
반사전자 Image: 15 kV
시료 제공: 국립대학법인 나고야공업대학
극세 Device 연구센터 기능시스템
에가와 타카시 교수
Information on our new cold field emitter technology can be found here.
Hitachi FE-SEM Application Data
This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.
Photo collections of beauty of metals, minerals, organisms etc. reproduced by the electron microscope and finished more beautifully by computer graphic technology.