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Hitachi

Hitachi High-Technologies Korea Co.,Ltd.

Schottky 주사현미경 SU5000

SU5000 & EM Wizard가 창조하는 FE-SEM의 새로운 세계

SEM을 처음 사용하는 사용자에게도 「아름다운 Image를 얻을 수 있다는 체험」, 혼자서 성취하고 숙달될 수 있다는 「성공 체험」, 그리고 숙달된 사용자에게도 풍부한 기능을 제공하는 새로운 「체험」.
EM Wizard는 다양한 “User Experience”의 제공을 통하여 새로운 SEM의 즐거움과 재미를 개척하겠습니다.

특징

고분해능・재현성・Throughput을 모든 사용자에게 제공하기 위해 새롭게 개발된 User Interface 「EM Wizard」

EM Wizard의 Standard Mode에서는 사용 빈도가 높은 5개의 Beam / 검출기 조건을 준비했습니다.
선택 화면에서 조건을 선택함으로써 광축 조정 등의 작업 없이 최적의 광학 조건으로 Image를 취득할 수 있습니다.

Standard Mode: 조건 선택 화면
Standard Mode: 조건 선택 화면

시료 위치를 더욱 알기 쉽게 표시하는 「Multi Finder」 탑재

Multi Finder를 사용하여 시료의 위치를 표시
Multi Finder를 사용하여 시료의 위치를 표시. 경사 / 회전을 추적하여 SEM Image나 Holder Image를 이동하며, 시야 찾기가 용이하도록 서포트합니다.

샘플 제한을 최소한으로 줄인 디자인

  • 대형 시료 (~200 mmΦ, ~80 mmH)를 지원하는 Draw-out 시료실을 채용하여 시료실을 개방해도 대물 조리개가 오염되지 않도록 배려한 구조입니다.
  • 가열・인장Stage 등 특수 Application에도 간편하게 대응 가능
  • Conical 대물 렌즈를 통하여 대형 자성체 시료 관찰이나 EBSD 측정도 더욱 원활하게 가능합니다.

강력한 광학계・검출계

  • 저에너지 관찰 시의 분해능은 1.6 nm@1 kV*1
  • 고진공 / 저진공 모두 조사 전류는 최대 200 nA*2
  • 형상・조성・결정학적 정보를 추출하는 신개발 반사전자검출기 탑재*3
*1:
EX Deceleration Mode + TOP 검출기 옵션 탑재 시
*2:
저진공 모드는 옵션입니다.
*3:
반사전자검출기는 옵션입니다. (저진공 모드 구성일 경우 기본 부속)

사양

항목내용
보증분해능 1.2 nm (가속 전압30 kV)
3.0 nm (가속 전압1 kV)
2.0 nm (조사전압1 kV: Deceleration Mode: 옵션)
1.6 nm (조사전압1 kV: EX Deceleration Mode: 옵션)
3.0 nm (가속 전압15 kV: 저진공 모드: 옵션)
배율 사진 배율: 10~600,000×
모니터 배율:18~1,000,000×
(800 × 600화소)
전자총전자총 ZrO / W Schottky Emission 전자총
가속 전압 0.5~30 kV (0.1 kV Step)
조사전압 0.1~20 kV (Deceleration Mode: 옵션)
조사 Beam 전류 최대 200 nA
검출기 고진공용 Scintillator / Photomultiplier 2차전자검출기 (Lower 검출기)
저진공 모드*2 압력 가변 범위: 10~300 Pa
시료 StageStage 제어 5축 모터 구동
이동범위 X: 0~100 mm
Y: 0~50 mm
Z: 3~65 mm
T: -20~90°
R: 360°
시료 사이즈 최대 ~200 mmΦ, 최고 ~80 mm
검출기 옵션
  • 고진공용 Scintillator / Photomultiplier 2차전자검출기 (Top 검출기)*1
  • 고감도 저진공 검출기 (UVD)
  • Retractable 반도체형 반사전자검출기 (PD-BSD) *2
  • 에너지 분산형 X선 검출기 (EDS)
  • 파장 분산형 X선 검출기 (WDS)
  • 후방산란전자회절도형검출기 (EBSD)
*1:
Scintillator Mode와 조합
*2:
저진공 모드 부속의 경우 표준 검출기입니다

관찰 사례

생물

쥐의 전뇌

반사전자 Image: 2 kV (절편 시료)
반사전자 Image: 2 kV (절편 시료)

시료 제공: 자연과학연구기구 생리학연구소
대뇌신경회로론 연구 부문
쿠보타 요시유키 준교수

척수신경절 뉴런

2차전자 Image: 5 kV
2차전자 Image: 5 kV

시료 제공: 니가타 대학 대학원 치아종합연구소
코가 다이스케 준교수*, 우시키 타츠오 교수

*:
현 아사히카와 의과대학 의학부 현미해부학 분야

재료

Multi Wall Carbon Nano Tube의 표면 미세 구조

Multi Wall Carbon Nano Tube의 표면 미세 구조
2차전자 Image: 조사 전압=0.5 kV / 200 kX

Neodym 자석 단면

Neodym 자석 단면
반사전자 Image: 2 kV

산란각 선택이 가능한 반사전자검출기를 탑재.
조성과 형상을 변별한 Image 취득이 가능합니다.
왼쪽: 조성 Contrast 주체로 입계상이 명료하게 관찰되고 있습니다.
오른쪽: 형상 주체의 Contrast를 통해 미세한 형상차가 관찰되고 있습니다.

가열 Stage를 사용한 즉시 관찰

시료: 금 박막

시료 제공: 도쿄공업대학 기계제어시스템 전공 요시노 마사히코 교수, 테라노 모토키 조교

리튬이온재료의 3D 관찰 SBF-SEM의 재료과학에 응용


시야영역: 350 µm × 90 µm

3차원 재구축 Image
귤색: 활물질, 파란색: PvdF

반도체

Si 상의 n-GaN


관통전위와 원자 Step의 관찰
반사전자 Image: 15 kV


시료 제공: 국립대학법인 나고야공업대학
극세 Device 연구센터 기능시스템
에가와 타카시 교수

 

New coherent cold field emission source(Global)

Information on our new cold field emitter technology can be found here.

Applications(Global)

Hitachi FE-SEM Application Data

Technical magazine
"SI NEWS"

This journal addresses a wide range variety of research papers and useful application data using Hitachi science instruments.

nanoart(Global)

Photo collections of beauty of metals, minerals, organisms etc. reproduced by the electron microscope and finished more beautifully by computer graphic technology.

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