扫描电子显微镜 (SEM)

半导体微缩化和尖端材料的开发离不开纳米级的形态观察。日立高新一直致力于开发保证亚纳米级分辨率的扫描电子显微镜（SEM）。新产品“SU9600”通过继承前代机型^＊1所具备的0.4 nm（30 kV）超高分辨率^＊2，凭借稳定的高分辨观察与高通量性能，能够为新工艺新材料的研发评估提供强大技术支撑。

随着快速数据采集和数据处理技术的发展，电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量，而且注重其采集过程的时代。SU8700作为一款面向新时代的SEM，在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上，增加了包括自动获取数据等高通量的功能。

随着快速数据采集和数据处理技术的发展，电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量，而且重视其采集过程的时代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。

SU7000不仅可以在低加速电压下获得高画质图像，而且还可以同时接收多种信号。此外，它还具备大视野观察、In-Situ观察等FE-SEM的众多优异性能。 SU7000是一台实现了获取大量信息的新型扫描电镜，可以满足客户的多种观察需求。 接下来请欣赏SU7000带来的多彩世界。

SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品，配置超高分辨率与观察能力，而且不像部分SEM产品，受安装样品尺寸与重量的限制，此系列可以通过简单的操作实现数据采集。可用于钢铁等工业材料，汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。
此外，SE系列包括4种型号（两种类型，两个等级），满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途（如微观结构控制：用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能；异物、缺陷分析：用于提高产品品质）选择适合的产品。

日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。

“先进的SEM更为紧凑” 宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计，仍具备4.0 nm的图像分辨率。全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。

日立台式扫描电子显微镜累计销量突破5800台，现推出新品TM4000PlusIII/TM4000III。
产品全面升级更新，可为研发、品控、教育等前沿客户进一步优化过程，创造新的价值。