扫描电子显微镜 FlexSEM 1000 II
特点
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FlexSEM 1000 II采用全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测技术,是一款兼具高观察性能与分析性能的紧凑型SEM。 FlexSEM 1000 II 的节省空间设计有助于安装在实验室、办公室等各种环境,适合从初学者到专业用户的广泛使用。
从生物样品到先进材料, FlexSEM 1000 II的应用场面是多彩多姿,助于分析工作的高效率化与新发现。精巧紧凑的高性能电子光学系统
通过采用低像差物镜,在紧凑机身中实现卓越的分辨率。兼顾出色的观察性能与安装便利性,满足各类分析・评估需求。
金颗粒沉积
加速电压:20 kV
倍率:60,000倍
信号:SE
分辨率:4 nm金颗粒沉积
加速电压:20 kV
倍率:50,000倍
信号:BSE
分辨率:5 nm出色的低真空观察性能*1
借助高灵敏度化的UVD-II,即使对于非导电性样品或难以前处理的样品,也能获取抑制噪声的高对比度图像。提升观察的自由度,应对多样化应用。
树脂断面
加速电压:5.0 kV
倍率:150倍
信号:UVD-II
滤纸
加速电压:5.0 kV
倍率:300倍
信号:UVD-II*1选项
通过自动化功能,实现快速且高质量的数据采集
FlexSEM1000Ⅱ采用直观易用的用户界面,具备各种自动化功能,无论用户的经验或熟练程度如何,都能高效地获取高品质图像。此外,还支持触摸屏操作,提供舒适的操作环境。
SEM MAP的直观导航
SEM MAP 能够快速定位样品上的目标位置,并将光学显微镜图像与SEM图像无缝联动。只需单击即可移动至观察位置,从而提升观察效率,便于访问目标部位。光学显微镜和SEM图像的联动功能已集成于用户页面中,从初学者到熟练用户均可进行直观操作。
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FlexSEM1000Ⅱ的宽为450 mm,在此节省空间设计下,仍实现了出色的观察性能。主机与电源设备是可分离的灵活结构,可轻松安装于实验室、办公室等各种环境。此外,可使用普通电源插座运行,在降低导入时设备负担的同时实现顺畅运行。
FlexSEM 1000 II -
FlexSEM 1000 II 安装了全新设计的电子光学系统和高灵敏度UVD检测器,即使在低加速电压及低真空环境下也能发挥出色的观察性能。此外,通过独有的连续偏压技术,在各种加速电压条件下均可确保高信号量,能够以高对比度观察试样表面的微细结构。
鲍鱼壳
加速电压:8.0 kV
倍率:5,000倍
松饼
加速电压:5.0 kV
倍率:1,000倍 -
用户操作页面不但有助于减少调整观察条件所需的时间和精力的同时,支持高品质图像的获取。无论是否有SEM使用经验,用户都能进行高速且稳定的观察。
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「SEM MAP」功能可为观察时的视野查找及样品上的定位提供强力支持。基于内置摄像头拍摄的图像对样品进行导航,只需单击即可移动至观察位置。
SEM MAP上采集的图像会自动粘贴显示在操作页面。 -
使用选配功能【EM Flow Creator】,可以自动连续获取图像。
将观察条件设置(如放大倍率,观察位置等)、SEM功能(调整对焦/对比度等)转化为可组合的模块,由模块的自由搭配每个客户都可以创建独自的观察程序。
通过拖拽模块,可以像流程表一样创建观察程序。通过执行创建的程序,即可实现自动观察。
应用案例
半导体
焊线
真空度:30 Pa
倍率:1,000倍
信号:BSE、无金属涂层
真空度:30 Pa
倍率:5,000倍
信号:BSE、无金属涂层
材料
二硫化钨
FlexSEM 1000 II采用新型偏压系统,可在低加速电压下获得高放射电流。从而,在低加速电压下也能实现同类产品中最高的图像清晰度(S/N)。
倍率:10,000倍
信号:SE、无金属涂层
倍率:10,000倍
信号:SE、无金属涂层
水泥
倍率:15,000倍
信号:SE、无金属涂层
黄铜矿
真空度:40 Pa
倍率:1,000倍
信号:BSE、无金属涂层
生物
蝴蝶翅膀断面
倍率:40,000倍
信号:SE、有金属涂层
花粉
真空度:60 Pa
倍率:500倍
信号:UVD、无金属涂层
三维测量软件
Hitachi map 3D(选项)
利用SEM上4分割背散射电子检测器所获得的信号,可计算4个方向的表面形状,从而无需进行样品倾斜和视野对位,即可构建三维模型。
Hitachi map 3D支持多个国家的语言,具备用于调节样品位置的各种校正功能、以及可追溯测量过程的测量系统、符合ISO标准的表面粗糙度(面粗糙度、线粗糙度)的测定、此外还包括表面积、体积等其他测量功能以及报告输出等功能。
详情请浏览“日立高新技术领域”页面。
规格
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 分辨率*2 | 4.0 nm(二次电子像、加速电压:20 kV、高真空模式) 15.0 nm(二次电子像、加速电压:1 kV、高真空模式) 5.0 nm(背散射电子像、加速电压:20 kV、低真空模式) |
| 加速电压 | 0.3 kV~20 kV |
| 倍率 | ×6~×300,000 (照片倍率) ×16~×800,000 (显示器显示倍率) |
| 低真空设置 | 6~100 Pa |
| 电子枪 | 预对中钨灯丝电子枪 |
| 样品台 | 3轴马达驱动样品台 X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm T:-15~90°、R:360° 最大可观察范围:直径64mm(R联用)*3 |
| 最大样品尺寸 | 直径80 mm(选配:直径153mm) |
| 最大样品高度 | 40 mm |
| 尺寸 | 机体:450(宽度)×795(进深)×690(高度) mm 电源盒:450(宽度)×640(进深)×450(高度) mm |
| 选项 |
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| 软件 | Multi Zigzag(连续视野图像导入功能) |
*2 机体和电源盒连接时候
*3 使用标准支架时
* PC、桌子、监控器由客户准备
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