扫描电子显微镜 SU3800/SU3900

集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身

日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。

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特点应用案例规格

特点

样品台可搭载超大/超重样品

通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品
GUI上显示更换样品的操作步骤。可以避免因人为的误操作而导致样品污染或损坏。即使是难以检测高度的凹凸不平的样品或者是超大样品，也能够轻松更换。

样品交换仓*
选配样品交换仓，可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品，大大提高了工作效率

具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*
SU3800 / SU3900配置了样品台自由模式，开放了样品台移动的自由度。操作人员可自行判断，自由移动样品台。
※选择样品台自由模式时，请同时选配红外CCD探测器。

红外CCD探测器*，提高了样品台移动的安全性
红外CCD探测器是用于监控样品仓内部的装置。通过使用红外线摄像机，可以在观察SEM图像的同时监视样品仓内部情况。为了获得更详细的位置，放大CCD图像，并且移动观察位置。

支持全视野移动,SEM MAP*支持超大样品的全视野观察

与GUI联合，可配备样品仓室导航相机
与GUI联合的SEM MAP，正是因为采用了样品仓室导航相机，才得以实现广角相机导航功能*。在SEM MAP上指定观察目标位置，可以顺利地移动到任意指定位置上。使用大视野相机导航系统拍摄的图像或外部图像，通过自由放大或缩小图像，可以将大视野的彩色图像切换到高倍率的SEM图像。

覆盖整个可观察区域
相机导航系统通过图像拼接功能可以实现大视野的SEM MAP观察。观察区域为直径130mm（SU3800）/ 直径200mm（SU3900），并且可以与样品台R一起联动，移动到大型样品的最大观察区域。

支持360度旋转
SEM MAP操作界面可直观的显示样品与探测器的位置关系，因此在观察高度差大的样品时，可根据需求旋转样品台或电子束来获得最佳的观察分析位置，避免阴影效应造成的影响。

*配件

一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI

搭载了简约UI，简单操作，如同触屏般直观。

从移动样品台到样品观察，轻轻点击鼠标即可实现
也可触屏操作
主窗口为1280x960像素的大窗口
可以切换显示模式，并且同时显示/拍摄两种不同的信号

各种自动化功能

自动调整算法经改良后，等待时间减少至以往的1/3以下（※S-3700N比例）
样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像。高度自动化功能采用全新设计的演算程序，在执行图像自动调整功能时，等待时间缩短到以往的1/ 3以下。

采用了新的算法，提高了自动聚焦精度
全新升级的自动聚焦调整功能，即使是以往难以调整的光滑样品，也能够轻松得到良好的图像。

搭载Intelligent Filament Technology（IFT）
自动监视灯丝的状态，自动控制使其一直处于最佳性能的状态。
搭载显示灯丝更换时间的显示屏。
通过该功能，使得原来难以对应的长时间连续观察以及数据分析等大范围分析均可以安心实现。

Multi Zigzag*，可实现多区域的大视野观察

Multi Zigzag可以自动获取连续的视野。可以在不同的视野中拍摄多张高倍率图像，并使用Viewer功能拼接拍摄的图像，创建大视野图像。

Report Creator，可利用获得的数据批量生成数据报告
在Report Creator中，可以将SEM图像，EDS数据和CCD相机图像等采集的图像统一整合，生成报告。创建的报告可保存为Microsoft Office®格式。保存的文件可通过Microsoft Office®进行编辑。

*配件

可满足多种观察需求的探测器

搭载高灵敏度UVD*，支持CL观察
SU3800 / SU3900配备了高灵敏度低真空探测器UVD。除了样品表面的凹凸图像之外，还可以通过检测电子束照射样品而产生的阴极荧光，来获取CL信息。

高灵敏度半导体式背散射电子探测器，切换成分/凹凸等多种图像。

通过采用4分割+1单元的设计，对每个单元进行计算，无需倾斜样品，即可获得成分图像、3D图像以及4方向凹凸图像。由于探测器的设计十分精巧，且灵敏度高，实现了高分辨率和高信噪比。

配备了多功能超大样品仓，可以搭载多种配件

SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。

SEM/EDS一体化功能*

SU3800/SU3900全新研发的SEM/EDS一体化功能，通过SEM操作界面即可完成测试位置确定、条件设置、样品分析以及生成报告等一系列操作。通过SEM的全面控制，可以提高测试效率，减轻了操作人员的负担。

三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*

Hitachi Map 3D可对SU3800/SU3900的5分割背散射电子探测器当中的4个不同方向的SEM信号进行演算分析，生成三维图像。支持2点间高度、体积和简易表面粗糙度（面粗糙度、线粗糙度）测量。可一次性接收四个不同方向的信号，因此，无需倾斜样品台或合成图像。

支持图像测量软件Image pro

SU3800 / SU3900搭载了IPI，可以将SEM图像传输到由美国Media Cybernetics公司开发的图像处理软件Image Pro。只需单击一下，即可将数据从SEM传输到图像测量软件。

*配件

矿物的观察分析案列

显示了锆石晶体在相同视野下的观察结果。在BSE图像中很难看清铬浓度的缓和偏差。但是,在CL图像中可以确认到暗色区域是对应于错浓度较高的区域。

使用选配功能【EM Flow Creator】，可以自动连续获取图像。
将条件设置（如放大倍率，样品台位置等）、调整对焦/对比度等SEM功能转化为可组合的模块，生成一系列观察程序。每个客户都可以创建自己的观察程序。
通过拖拽模块，可以像流程表一样创建程序。通过执行创建的程序，即可实现自动观察。

应用案例

半导体器件材料科学生命科学

半导体器件

材料科学

生命科学

规格

ITEM		SU3800	SU3900
二级电子分解能		3.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式）
二级电子分解能		15.0nm（加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射电子分解能		4.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式）
倍率		×5～×300,000（照片倍率*1）
倍率		×7～×800,000（实际显示倍率*2）
加速电压		0.3kV～30kV
低真空度设定		6～650 Pa
图像位移		±50µm（WD＝10mm）
最大样品尺寸		200mm直径	300mm直径
样品台	X	0～100mm	0～150mm
	Y	0～50mm	0～150mm
	Z	5～65mm	5～85mm
	R	360°连续
	T	－20°～+90°
	最大可观察范围	130mm直径（R并用）	229mm直径（R并用）
	最大可观察高度	80mm（WD=10mm）	130mm（WD=10mm）
	电机驱动	5轴电机驱动
电子光学系统	电子枪	预对中钨灯丝电子枪
	物像镜头光圈	4孔可动光圈
	检测系统	二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器
	EDX分析WD	WD＝10mm（T.O.A＝35°）
图像显示	自动光轴调整功能	自动光束调整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
		自动光轴调整（实时级别对齐）
		自动调整光束亮度
	自动图像调整功能	自动亮度和对比度控制（ABCC）
		自动对焦控制（AFC）
		自动标记和焦点功能（ASF）
		自动灯丝饱和度调整（AFS）
		自动光束对准（ABA）
		自动启动（HV-ON→ABCC→AFC）
操作辅助功能		电子束旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入（点对点测量、角度测量、文本）、预设放大、样品台位置导航功能（SEM MAP）、光束标记功能
配件		■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器（UVD）、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成
配件（外部装置）		能量散射X射线分析仪（EDS）、电子背散射衍射（EBSD）、外部功能台（冷却台）