日立ハイテクノロジーズの設立は、成長分野である半導体製造装置やバイオ関連製品などのナノテクノロジー事業の強化に向けて、日立製作所の事業グループと関連会社との一体運営をさらに強化・拡充する基本戦略を実践するものであった。

ナノテクノロジー領域では、急速に進む技術革新とともにグローバルな競争が強まっており、市場変化にスピーディーに対応した事業体制の構築とその運営が大命題であった。これに応えて、日立製作所の計測器グループと半導体製造装置グループを分社化し、日立グループを代表するハイテク商社である日製産業と統合した新会社を設立することになったのである。その後、計測器グループの検体検査装置の国内外営業を一本化するため、株式会社日立メディコの同装置に関する営業業務も新会社に移管されることになった。

この事業統合と新会社の設立は2001年2月に発表されたが、6月に開催された日製産業の株主総会にて正式に決定され、10月1日付で日製産業の商号を変更して、「株式会社日立ハイテクノロジーズ」が誕生した。