1960年8月に日立製作所電気事業部から計測器事業部が独立、1961年2月21日に多賀工場から、計測器の専門工場として那珂工場が分離独立した。

計測器では、電力、産業、水処理などのプラントに利用される伝送器、電磁流量計などの計器・計装システムを化学プラントをはじめとした産業界に提供し、FA・自動化システムに貢献した。

理化学機器では電子顕微鏡、分光光度計、液クロ分析装置、NMR-CTで世界的な実績をあげ、医用機器でも生化学自動分析装置で世界トップシェアを築いた。また、走査型電子顕微鏡(SEM)の応用として、1984年に半導体ウェーハの回路パターンの検査を行う世界初の測長SEMを製品化し今日に至るまで圧倒的な世界シェアを確保している。さらに、バイオ・ライフサイエンス分野でもDNAシーケンサなど実績をあげている。