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電子顕微鏡/プローブ顕微鏡

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製品一覧

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電子顕微鏡
(SEM/TEM/STEM)

光より波長の短い電子線を用いることで、光学顕微鏡では観察できない微細な構造を観察でき、金属・セラミックス・半導体などの無機材料から、高分子・生物組織まで、幅広い分野で利用されています。
試料表面に電子線をあてた際に発生する電子を利用して、表面構造を観察する走査電子顕微鏡(SEM)と、薄い試料を透過させた電子線を検出することで内部構造を観察する透過電子顕微鏡(TEM)・走査透過電子顕微鏡(STEM)に大別されます。

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集束イオンビーム
(FIB/FIB-SEM)

細く絞ったイオンビームを試料にあて、その際に発生する電子を利用して表面構造を観察したり、試料表面を任意の形状に加工することができます。特定微小部の加工が可能であることから、SEM観察用の断面作製やTEM観察用の薄膜作製に広く利用されています。FIBにSEMを組合せたFIB-SEMでは、FIBで作製した断面をそのままSEMで観察でき、FIB加工とSEM観察を繰返すことで、連続断面画像シリーズを収集できます。これを再構築することで、試料の三次元構造を解析することも可能です

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走査型プローブ顕微鏡
(SPM/AFM)

プローブと試料間に作用する様々な物理量を検出し、微小領域の表面形状や物性を測定する走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)は、有機・高分子、半導体・エレクトロニクス、無機材料、金属・誘電体・磁性体、生体など、幅広い分野で利用されています。

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ナノ3D光干渉計測システム (CSI)

ナノ3D光干渉計測システム(CSI)は、光の干渉現象を利用した非接触・非破壊の表面形状計測装置です。光の干渉スケールを用いることで、高さ分解能 0.01 nmを維持したまま広い視野領域の計測を実現しています。VS1800では、透明積層体の光学界面から得られる干渉ピークを高さ検出することにより、表面形状計測に加え多層膜の層構造および層内部の異物計測が可能です。

画像:ラマン分析機器(RAMAN)

ラマン分析機器(RAMAN)

物質に単波長の光を照射すると、光と物質の相互作用により散乱と呼ばれる現象が起きます。散乱光には照射した光と同じ波長のレイリー散乱(弾性散乱)と、照射した光とは異なる波長のラマン散乱(非弾性散乱)があります。ラマン散乱は散乱光の0.0001%と微弱な光です。その微弱なラマン散乱光を分光し、得られたラマンスペクトルから、分子レベルの構造を解析する手法がラマン分光法です。

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電子顕微鏡周辺装置

電子顕微鏡での分析や試料前処理に必要な周辺装置をご紹介します。
■電子顕微鏡での組成分析を可能にするエネルギー分散型X線分析装置(EDX)
■広域の試料断面を作製できるイオンミリング装置
■非導電性試料に導電性を付加するイオンスパッタ
■電子顕微鏡観察の障害となるコンタミネーションを低減するサンプルクリーナー
■含水試料の電子顕微鏡観察に有効なイオン液体、など

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サービス・サポート

装置設置環境の評価・対策、装置の安定稼動のための保守やメンテナンス、装置をより有効に活用頂くための技術サポートや各種ソリューションをご紹介します。

関連情報

S.I.navi

「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。

Semevolution

日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。

Materials Science

マテリアルサイエンス

人類の歴史を通して、材料は文明の発達に非常に重要な役割を果たしてきました。また、マテリアルサイエンスは、日常生活用品から宇宙に関するものまで、すべてに影響をもたらしています。 材料の形態・組成・物理特性・動的挙動の評価を可能とする電子顕微鏡と走査プローブ顕微鏡は、その発明以来、マテリアルサイエンスに重要な貢献をしてきました。製品品質管理や新素材の開発にも欠かすことができません。 日立ハイテクでは、簡単操作の卓上SEM、高精度解析のためのFE-SEM/TEM、3D解析にも対応するFIB-SEM、表面トポグラフィーの同時計測が可能なAFMを含む、幅広いラインアップを提供しています。

Materials Science

ライフサイエンス

ライフサイエンスの多くの分野で、電子顕微鏡は、ウイルスの発見・感染予防・オルガネラ構造の解明・新薬開発・食品安全を含む、さまざまな貢献をしてきました。具体的には、分子生物学、細胞生物学、微生物学、植物学、臨床病理学、薬理学、毒物学などの分野で利用されています。 また、細胞構造とその機能、生体分子やタンパクの超構造、三次元構造の研究にも利用されています。 日立ハイテクは、細胞内部構造研究のために超薄切片を用いるTEMや三次元構造観察のためのSEMやFIB-SEMなど、ライフサイエンスアプリケーションのための最先端のツールを提供しています。

Semiconductors

半導体

半導体デバイスの微細化は、驚くべき速度で進んでいます。また、近年の技術の進歩により、デバイスの構造は原子レベルで制御することも可能になっています。この中で、電子顕微鏡は、短いターンアラウンドタイムで高分解能観察を実現し半導体製造解析の現場では欠かせない技術となっています。電子顕微鏡は、パッケージ品から原子レベルで制御されたゲート構造の詳細まで、非常に広い範囲をカバーし、あらゆるものの評価に利用されています。
日立ハイテクは、半導体デバイスの開発・製造・不良解析・品質保証に用いられる、最先端のインライン、および、オフラインの解析装置を提供しています。電子顕微鏡についても、世界トップレベルのFE-SEM、FIB-SEM、TEMを含む、幅広い製品をラインアップしています。