このウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。
ページの本文へ
LEIS（低エネルギーイオン散乱分光法）は数 keV程度の低エネルギーのイオンを用いる表面最近傍や単原子膜等に極めて敏感でかつ元素分析と構造解析が同時にリアルタイム観測できる手法です。触媒分野、超薄膜製膜、自己成長膜等の構造解析に多用されております。 一次イオンの自動切替え機構やユニークな静電アナライザにより、全方位の散乱イオンを同時に計測することで、既存のLEISに比べ約3,000倍の感度を実現しました。
さらに表示
関連リンク
特集
コラム
報文
技術解説
トピックス
新製品情報
電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品トップ
日立ハイテクの製品・サービス
日立ハイテクの企業情報
日立ハイテクトップ
