走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）
あらゆるステージで活躍する日立のAFM
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| 基本機能 | （AFM100）:AFM、DFM、PM、FFM、SIS形状モード （AFM100 Plus / AFM100 Pro）:AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状/物性、Q値制御 |
AFM、DFM、PM位相、FFM |
| 機能拡張性※ | SIS-ACCESS、SIS-QuantiMech、機械物性システム（LM-FFM、VE-AFM、Adhesion）、電気物性Ⅰ（MFM、KFM（AM/FM）、EFM（AC）、EFM（DC）、PRM）、電気物性Ⅱ（SSRM、Current（Nano）、Current（Pico））、PicoSTM※（AFM100 Plubusseis / AFM100 Proのみ可能） | SIS形状、SIS物性、SIS-ACCESS、SIS-QuantiMech、機械物性システム（LM-FFM、VE-AFM、Adheasion）、電気物性Ⅰ（MFM、KFM（AM/FM）、EFM（AC/DC）、PRM）、電気物性Ⅱ（SSRM、Current（Nano）、Current（Pico） |
| 対応環境 | 大気、液中※、加熱※（室温～250℃）、液中加熱※（室温～60 ℃） | 大気 |
| 試料微動機構 | マニュアルステージ XY：±2.5 mm インパクトステージ（導電タイプ）※ |
精密電動ステージ 観察可能領域：100 mm（4インチ）全域 ストローク：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm 最少ステップ：XY 2 μm、Z 0.04 μm |
| 試料サイズ | 最大35 mmφ、厚さ10 mm 最大50 mm角、厚さ20 mm※ |
最大100 mmφ、厚さ20 mm |
※オプション
走査型プローブ顕微鏡（SPM／AFM）関連 消耗品
試料表面と探針との間に働く力を検出して、表面の凹凸情報を画像化します。また、電気特性／機械物性情報を検出し、3次元表示も可能な装置です。
アプリケーション
走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）のアプリケーション（測定事例）を紹介しています。
走査型プローブ顕微鏡スクールのご案内です。SPM/AFMの概要、測定原理から実機の操作方法といったを中心にした、初心者の方に最適な内容です。
製品ユーザー向け情報
当社の走査型プローブ顕微鏡をお使いのお客様向けの情報です。
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関連情報
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