AFM、DFM、PM位相、FFM
SIS形状、SIS物性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM
大気
精密電動ステージ
観察可能領域：100 mm(4インチ)全域
ストローク：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
最少ステップ：XY 2 μm、Z 0.04 μm
最大100 mmφ、厚さ20 mm
AFM、DFM、PM、FFM
SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、KFM、EFM、MFM
大気、真空※、液中※、湿度※、
加熱冷却※
（-120～300℃/RT～800℃)
マニュアルステージ
XY：±2.5 mm
最大25 mmφ、厚さ10 mm
AFM、DFM、PM、FFM
SIS、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、 KFM、EFM、MFM
大気、液中※、湿度※、
加熱※(室温〜250℃)
マニュアルステージ
XY：±2.5 mm
(インパクトステージセット※)
最大35 mmφ、厚さ10 mm
最大50 mm角、厚さ20 mm※
自己検知 ： DFM、PM
光てこ ： AFM、DFM、PM、FFM
FFM
SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、 KFM、EFM、MFM
大気
マニュアルステージ
XY：±2.5 mm
(インパクトステージセット※)
最大35 mmφ、厚さ10 mm
最大50 mm角、厚さ20 mm※
AFM、DFM、PM、FFM
SIS、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、PRM、KFM、EFM、MFM
大気
電動ステージ
XY：150 mm×150 mm
最大200 mmφ、厚さ22 mm
2019年10月11日
2019年5月7日
2019年2月20日
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