(AFM100):AFM、DFM、PM、FFM、SIS形状モード
(AFM100 Plus / AFM100 Pro):AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状/物性、Q値制御
SIS-ACCESS、SIS-QuantiMech、機械物性システム（LM-FFM、VE-AFM、Adhesion）、
電気物性Ⅰ（MFM、KFM (AM/FM)、EFM（AC）、EFM（DC）、PRM）、電気物性Ⅱ（SSRM、Current（Nano）、Current（Pico））、PicoSTM※（AFM100 Plubusseis / AFM100 Proのみ可能）
大気、液中※、加熱※（室温～250℃）、液中加熱※（室温～60 ℃）
マニュアルステージ XY：±2.5 mm
インパクトステージ（導電タイプ）※
最大35 mmφ、厚さ10 mm
最大50 mm角、厚さ20 mm※
AFM、DFM、PM位相、FFM
SIS形状、SIS物性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM
大気
精密電動ステージ
観察可能領域：100 mm(4インチ)全域
ストローク：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
最少ステップ：XY 2 μm、Z 0.04 μm
最大100 mmφ、厚さ20 mm
AFM、DFM、PM、FFM
SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、KFM、EFM、MFM
大気、真空※、液中※、湿度※、
加熱冷却※
（-120～300℃/RT～800℃)
マニュアルステージ
XY：±2.5 mm
最大25 mmφ、厚さ10 mm
自己検知 ： DFM、PM
光てこ ： AFM、DFM、PM、FFM
FFM
SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、 KFM、EFM、MFM
大気
マニュアルステージ
XY：±2.5 mm
(インパクトステージセット※)
最大35 mmφ、厚さ10 mm
最大50 mm角、厚さ20 mm※
2022年6月28日
2022年6月20日
2021年4月1日
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