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日立ハイテク
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走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)

あらゆるステージで活躍する日立のAFM

導入の決め手は、
AFM5300Eが環境制御型であることです

生井 勝康 様
(株式会社三井化学分析センター 材料物性研究部 分析ユニット 主席研究員 博士(理学))

材料の表面をワンショットで撮影できることが選定のポイントでした

島津 武仁 様
(東北大学 学際科学フロンティア研究所 先端学際基幹研究部 教授 博士(工学))

使いこなせる高性能。
測定に集中できるのがうれしいです。

兼平 真吾 様
(マイクロ波化学株式会社 研究員 博士(工学)

Real TuneⅡで自動でパラメータを調整。
初心者でも簡単に測定できます

山腰 亮子 様
(日華化学株式会社 コーポレートリサーチセンター コーポレートイノベーション研究部 分析研究室 次長)

SIS(サンプリング・インテリジェント・スキャン)モード
のおかげで試料を選ばず安定したデータが得られています

國年 弘二 様
(株式会社日東分析センター ソリューション・サービス部 技術開発グループ 主任技師)

Web Seminar

第33回材料解析テクノフォーラム
「 FIB-Ar/Xeビームを用いた前処理技術」

株式会社日立ハイテク
科学マーケティング部/田村慶太

製品を比較する

製品名
基本機能
機能拡張性
対応環境
試料微動機構
試料サイズ
(AFM100):AFM、DFM、PM、FFM、SIS形状モード
(AFM100 Plus / AFM100 Pro):AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状/物性、Q値制御
SIS-ACCESS、SIS-QuantiMech、機械物性システム(LM-FFM、VE-AFM、Adhesion)、 電気物性Ⅰ(MFM、KFM (AM/FM)、EFM(AC)、EFM(DC)、PRM)、電気物性Ⅱ(SSRM、Current(Nano)、Current(Pico))、PicoSTM(AFM100 Plubusseis / AFM100 Proのみ可能)
大気、液中、加熱(室温~250℃)、液中加熱(室温~60 ℃)
マニュアルステージ XY:±2.5 mm
インパクトステージ(導電タイプ)
最大35 mmφ、厚さ10 mm
最大50 mm角、厚さ20 mm
AFM、DFM、PM位相、FFM
SIS形状、SIS物性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM
大気
精密電動ステージ
観察可能領域:100 mm(4インチ)全域
ストローク:XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
最少ステップ:XY 2 μm、Z 0.04 μm
最大100 mmφ、厚さ20 mm
AFM、DFM、PM、FFM
SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、KFM、EFM、MFM
大気、真空、液中、湿度
加熱冷却
(-120~300℃/RT~800℃)
マニュアルステージ
XY:±2.5 mm
最大25 mmφ、厚さ10 mm
自己検知 : DFM、PM
光てこ : AFM、DFM、PM、FFM
FFM
SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、 KFM、EFM、MFM
大気
マニュアルステージ
XY:±2.5 mm
(インパクトステージセット)
最大35 mmφ、厚さ10 mm
最大50 mm角、厚さ20 mm

※オプション

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)関連 消耗品

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)関連 消耗品

試料表面と探針との間に働く力を検出して、表面の凹凸情報を画像化します。また、電気特性/機械物性情報を検出し、3次元表示も可能な装置です。

アプリケーション

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)のアプリケーション(測定事例)を紹介しています。

走査型プローブ顕微鏡スクールのご案内です。SPM/AFMの概要、測定原理から実機の操作方法といったを中心にした、初心者の方に最適な内容です。

製品ユーザー向け情報

当社の走査型プローブ顕微鏡をお使いのお客様向けの情報です。

初めてお使いになるお客様へ

関連情報

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「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。

Semevolution

日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。