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電子顕微鏡・医用機器・ライフサイエンス製品日立ハイテクノロジーズ

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)

プローブと試料間に作用する様々な物理量を検出し、微小領域の表面形状や物性を測定する走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)は、有機・高分子、半導体・エレクトロニクス、無機材料、金属・誘電体・磁性体、生体など、幅広い分野で利用されています。

製品情報

小型から大型、環境制御型まで、お客様の測定ニーズに合ったユニットとステーションをお選びいただけます。

プローブステーション AFM5000II/RealTune®II

進化した測定パラメータ自動調整機能を標準搭載するとともに、分かりやすさを追求したGUIに一新しました。

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プローブステーション AFM5000

測定パラメータの自動調整機能を標準搭載。各種パラメータを試料に合わせて最適に自動設定することが出来ます。

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汎用小型ユニット AFM5100N

センサー内蔵型レバーによりレーザー調整を不要にし、手軽に観察準備から測定までを実現する小型SPMです。卓上での設置を実現し、いつでもどこでも設置可能な省スペース設計を実現しています。

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多機能型ユニット AFM5200S

低コヒーレント光学系、熱源の抑制により、さらなる高分解能化、低ドリフト化、光干渉の低減化を実現した小型SPMです。大気中、液中で簡便に高分解能観察を行うことができます。

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環境制御型ユニット AFM5300E

真空・液中・ガス・温度・湿度など、様々な環境ニーズに対応する環境制御型SPMです。電子デバイスなど電気物性評価に欠かせない吸着水影響などを排除した高真空中での評価を実現します。

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大型ユニット AFM5400L

試料サイズ8インチまで搭載可能な大型SPMです。アキュレートスキャナと低コヒーレント光学系の採用によりナノオーダーの形状をより正確に高い精度で計測します。

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中型プローブ顕微鏡システム AFM5500M

XY200 μmの広域走査に加えて歪みを抑制したフラットスキャナにより直線性の高い計測を実現する中型SPMです。

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製品導入事例(お客様の声)

使いこなせる高性能。測定に集中できるのがうれしいです。

SISモードのおかげで試料を選ばず安定したデータが得られています。

アプリケーションデータ

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)のアプリケーション(測定事例)を紹介しています。

分野別

モード別

走査型プローブ顕微鏡スクール

走査型プローブ顕微鏡スクールのご案内です。SPM/AFMの概要、測定原理から実機の操作方法といったを中心にした、初心者の方に最適な内容です。

製品ユーザー向け情報

当社の走査型プローブ顕微鏡をお使いのお客様向けの情報です。

カンチレバー一覧

推奨カンチレバーの一覧と操作ガイドです。

保守・サービス

走査型プローブ顕微鏡に関する保守・サービス情報をまとめています。

会員制サイト

当社装置をお使いのユーザー様向けに、アプリケーションデータをはじめ各種情報をご提供しています。

生産終了製品のご案内

生産を終了した製品一覧と、消耗品・修理部品の保有期限の一覧です。

テクニカルサポート

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)に関連する最新情報 をご提供しています。

中型プローブ顕微鏡システムAFM5500Mのご紹介

原理解説

AFMの基本モードから様々な物性を測定する多機能モードまでの原理と解説です。

スペシャルコンテンツ

AFMに関する最新トピックをまとめました。

測定困難な測定を解決するSISモード
凹凸や吸着が大きな試料や軟らかい試料などの安定した測定を可能にする "SISモード" をご紹介します。
なぜ、真空中のAFM観察は有効なのか
吸着水やガス分子の影響を排除した真空環境におけるAFM観察の有効性について紹介します。
SEM-AFMコリレーションデータ "SÆmic."
SEMとAFMのコラボレーションによる新たなソリューション事例をご紹介します。

SPMデータギャラリー

走査型プローブ顕微鏡の測定事例をギャラリー形式でご紹介しています。

SPM用語集

AFMでよく用いられる略語や装置構成に関する用語などをわかりやすく解説しています。

SPMの歴史

AFMの歴史と当社のSPM装置変遷をご紹介します。

参考文献・発表リスト

AFMについての参考文献・発表をまとめています。

関連情報

S.I.navi

「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。
お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。

Semevolution

日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。

展示会・セミナー

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