(AFM100):AFM、DFM、PM、FFM、SIS形状モード
(AFM100 Plus / AFM100 Pro):AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形状/物性、Q値制御
SIS-ACCESS、SIS-QuantiMech、機械物性システム(LM-FFM、VE-AFM、Adhesion)、
電気物性Ⅰ(MFM、KFM (AM/FM)、EFM(AC)、EFM(DC)、PRM)、電気物性Ⅱ(SSRM、Current(Nano)、Current(Pico))、PicoSTM※(AFM100 Plubusseis / AFM100 Proのみ可能)
大気、液中※、加熱※(室温~250℃)、液中加熱※(室温~60 ℃)
マニュアルステージ XY:±2.5 mm
インパクトステージ(導電タイプ)※
最大35 mmφ、厚さ10 mm
最大50 mm角、厚さ20 mm※
AFM、DFM、PM位相、FFM
SIS形状、SIS物性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM
大気
精密電動ステージ
観察可能領域:100 mm(4インチ)全域
ストローク:XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
最少ステップ:XY 2 μm、Z 0.04 μm
最大100 mmφ、厚さ20 mm
AFM、DFM、PM、FFM
SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、KFM、EFM、MFM
大気、真空※、液中※、湿度※、
加熱冷却※
(-120~300℃/RT~800℃)
マニュアルステージ
XY:±2.5 mm
最大25 mmφ、厚さ10 mm
自己検知 : DFM、PM
光てこ : AFM、DFM、PM、FFM
FFM
SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、 KFM、EFM、MFM
大気
マニュアルステージ
XY:±2.5 mm
(インパクトステージセット※)
最大35 mmφ、厚さ10 mm
最大50 mm角、厚さ20 mm※