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日立高新技术在中国

超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的最佳性能。

*1
仅限Regulus8240/8230/8220

特点

  • 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
  • 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
  • 采用污染小、高真空样品仓
  • 运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观察

极低着陆电压下高分辨观察
样品:金颗粒
着陆电压:10 V

超高分辨观察

超高分辨观察
样品:Pt催化剂
加速电压:30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析

低加速电压下高分辨EDX分析
样品:Sn球
着陆电压:1.5 kV

 
*2
仅限Regulus8240/8230/8220

规格

项目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次电子分辨率 0.7 nm
(加速电压15 kV)
0.8 nm
(着陆电压1 kV)*3
0.6 nm(加速电压 15 kV)
0.7 nm(着陆电压 1 kV)*3
着陆电压 0.1~2 kV 0.01~20 kV
放大倍率 20~1,000,000倍*4 20~2,000,000倍*4
样品台样品台控制 3轴马达台(可选5轴马达台) 5轴马达驱动
移动范围X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
R 360°
T -5~70°
Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
再现性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm
*3
减速模式下观察
*4
以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率