超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700
特点
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日立的高亮度肖特基场发射电子枪可同时支持超高分辨观察和快速微束分析。在不使用样品台减速的情况下，仅用10 V*的低加速电压仍可进行高分辨观察，适应更多应用场景。同时，可搭配多种新型探测器和其他丰富的选配项，满足更多的观测需求。
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EM Flow Creator允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后，该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。
*选配
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支持双显示器，6通道同时显示
1,2,4或6通道信号可在同一个显示器上同时显示，可切换内容包括SEM各探测器以及样品室相机和导航相机。
可以通过使用两个显示器来扩展工作空间，可定制的用户界面以提高工作效率。
可安装样品室内置式导航相机。导航相机*
自动拍摄样品台的图像，并传输到SEM MAP画面上，方便导航观察位置，快速切换观察区域。
实时监测样品室内情况，在多附件的复杂情况下确保样品安全移动。可切换彩色/黑白。样品室相机*
样品室和接口
样品交换室可插入最大直径为150 mm的样品。样品室有多个EDS安装接口。
（照片包含选配项）*选配
应用案例
半导体器件
7 nm制程SRAM的电位衬度
SEM的电位衬度图像是一种非常有效的半导体器件缺陷可视化方法。
半导体器件的不同层面，SEM需要调节不同的参数（如加速电压）。
SU8700在不使用样品台减速的条件下，可提供低至0.01 kV*的加速
电压，从而在最佳条件下实现电位衬度观察。
3D NAND存储单元的平面观察
图为3D NAND的存储单元可清晰的观察到电容器件中小于10纳米的氮化硅层，氧化硅层和多晶硅层结构。
*选配
材料科学
钢回火马氏体
在许多工业领域中，金属合金的组织分析都十分重要的。这三幅幅图像显示了SU8700在此类研究中的强大图像能力。使用上探测器（UD）接收SE信号可以清晰的观察到晶界处的析出相。同时，PD-BSE接收BSE信号可以观察晶粒尺寸和变形。另外，右下角的图片也是利用通道效应，观察到一些晶粒内部的晶体缺陷。
样品提供：东京大学 南部 将一先生
Ag/SiO2纳米颗粒的核壳结构观察
许多纳米材料都采用核壳结构为基础，以实现其特殊的性能。其内核及外壳的形貌和尺寸都是重要的评价指标。
上面左图，通过探测器UD收集二次电子信号，观察SiO2外壳的形貌和粒径。
右图，通过探测器MD收集背散射电子信号，可以更清楚的区分内核（Ag）和外壳（SiO2）
生命科学
拟南芥子叶的超微结构
样品提供：环境资源科学研究中心，理化学研究所 丰冈 公德先生
上图为拟南芥子叶超薄切片的背散射电子图像。采用2 kV的低加速电压，得到了类似TEM像的图像。
可清晰的观察到右边放大图像中叶绿体中类囊体膜等超微结构。
大鼠大脑皮层大视野、高像素图像
左上图是视野约为120 μm，单次扫描采集的大鼠超薄切片样品高像素图像。将黄色矩形区域图像进行简单的数字放大，得到左下图。将左下图的黄框内容继续进行数字放大，得到右下图。右下图相当于左上原图像数字放大20倍，依然可以清晰确认到神经细胞的细胞器等的内部构造。SU8700单次扫描支持高达40,960 x 30,720像素*的高分辨率图像,如上所示,可以获得大视野、高像素图像。
样品提供：自然科学研究机构，生理学研究所，
电子显微镜室 洼田 芳之先生
*选配
规格
| 电子光学系统 | 二次电子分辨率 | 0.6 nm@15 kV |
|---|---|---|
| 0.8 nm@1 kV | ||
| 0.9 nm@0.3 kV | ||
| 放大倍率 | 20 ~ 2,000,000 x | |
| 电子枪 | 肖特基场发射电子源 | |
| 加速电压 | 0.1 ~ 30 kV 0.01 ~ 30 kV（*3） |
|
| 着陆电压*1,*3 | 0.01 ~ 7 kV | |
| 最大束流 | 200 nA | |
| 探测器 | 标配探测器 | 上探测器（UD） |
| 下探测器（LD） | ||
| 选配探测器*3 | 镜筒内背散射电子探测器（MD） | |
| 半导体式背散射电子探测器（PD-BSE） | ||
| 高灵敏低真空探测器（UVD） | ||
| 扫描透射探测器（STEM） | ||
| 选配附件*2 | X射线能谱仪（EDS） | |
| 电子背散射衍射探测器(EBSD) | ||
| 样品台 | 马达驱动轴 | 5轴马达驱动 |
| 移动范围 | ||
| X | 0 ~ 110 mm | |
| Y | 0 ~ 110 mm | |
| Z | 1.5 ~ 40 mm | |
| T | -5 ~ 70° | |
| R | 360° | |
| 样品室 | 样品尺寸 | 最大直径：150 mm*4 |
| 低真空模式 | 真空范围 | 5 ~ 300 Pa |
*1 减速模式下
*2 可配置的探测器
*3 选配项
*4 如果有更大的样品尺寸需求，请联系我们。
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