高分辨热场发射扫描电镜
SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus

SE系列集高性能与通用性于一身

SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品，配置超高分辨率与观察能力，而且不像部分SEM产品，受安装样品尺寸与重量的限制，此系列可以通过简单的操作实现数据采集。可用于钢铁等工业材料，汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。
此外，SE系列包括4种型号（两种类型，两个等级），满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途（如微观结构控制：用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能；异物、缺陷分析：用于提高产品品质）选择适合的产品。

* 所示仪器图片带有选配项。

联系我们

特点应用案例规格

特点

: 电子显微镜是进行材料形貌评价与分析的重要手段，而且直接观察样品的需求很常见。
SU3900/SU3800SE系列搭载牢固的多用途样品仓，对于非导电性样品，无需进行导电处理（金属镀膜）；对于超大超重样品，无需进行切割等破环处理，可以直接安装到样品台，实现样品的多角度观察。

SU3900SE/SE Plus

Φ300 mm 晶圆安装示例

H 130 mm 金属配件安装示例

在使用选配的样品交换器时,也可以安装高度 45 mm 的样品。

支持样品更换:

通过标准化更换流程、联锁装置等多重保障，有效降低人为操作失误风险
您可以通过视频观看样品更换的过程。
: 可在光学相机图像的全范围（最大直径229mm）内，快速找到SEM的目标观察视野！
您可以通过视频观看使用相机导航系统进行视野搜索的过程。
: 自动调整功能使图像获取更加简单！即使是从未使用过FE-SEM的人，也能轻松调整！
使用自动调整程序功能，无需依赖操作技巧，即可获得高质量的图像
您可以通过视频观看自动调整的执行过程。
: 此系列搭载新开发的热场电子枪，无论是在高加速电压还是低加速电压区域，均可获得超高分辨率图像。
高端型号（SE Plus）可以满足对样品极表面的观察需求。
标配低电压高灵敏度背散射电子探测器，可切换采集信号获得成分和凹凸信息。
与选配的UVD探测器组合使用，可以获得样品多种类型信息，实现多种模式观察。
: 使用选配功能【EM Flow Creator】，可以自动连续获取图像。
将条件设置（如放大倍率，样品台位置等）、调整对焦/对比度等SEM功能转化为可组合的模块，生成一系列观察程序。每个客户都可以创建自己的观察程序。
通过拖拽模块，可以像流程表一样创建程序。通过执行创建的程序，即可实现自动观察。

①

②

③

①确定指定区域，以×300倍率拍摄低倍图像
②以×1,000 拍摄同一区域的中倍图像
③以×5,000 拍摄同一区域的高倍图像
: 设定观察条件
你是否觉得观察条件设定很复杂？
通过使用观察条件的设定功能，可根据需求设定最佳观察条件。
您可以通过视频观看实际的操作过程。

用户权限设定功能
你是否对多人共用设备的管理存在担忧？
通过使用用户权限设定功能限制每位操作者可使用的功能，可有效降低误操作导致的人为失误风险。
您可以通过视频观看用户权限设定功能的操作过程。

应用案例

铁丝断面
可以确认韧性断裂引起的微小孔洞。

SUS316
可以看到位错结构产生的线状衬度。

电路板
通过低倍率、高倾斜观察，可以确认贴装元件的立体形状及位置。

多层陶瓷电容器横截面
可以观察到镍电极/电介质层的成分和晶体衬度。

氧化锌颗粒
可以观察到50 nm 左右的细小颗粒及立体形状。

高熵硬质合金薄膜
可以观察到不同成分/形状的多个颗粒的分布。

锂离子电池正极材料
可以观察到正极材料颗粒与周围粘合剂的分布。

锂电池负极材料
利用电位衬度可以观察锂电池负极材料中的粘结剂成分。

规格

项目		SU3900SE/SE Plus	SU3800SE/SE Plus
电子光学系统	二次电子分辨率	0.9 nm@30 kV
		2.5 nm@1 kV
		1.6 nm@1 kV(^*1)
	放大倍率	5～600,000×
	电子枪	ZrO热场发射(肖特基热场发射)
	加速电压	0.5 kV～30 kV
	着陆电压(^*1)	0.1 kV～2 kV
	束流	最大150 nA
真空系统	低真空模式	6～150 Pa
探测器	标配探测器	二次电子探测器(SED)
		顶探测器(TD) (^*2)
		5分割背散射电子探测器(BSED)
	选配探测器	高灵敏度低真空探测器(UVD)
	选配附件^*3	能谱仪 (EDS) 电子背散射衍射(EBSD)
马达台	马达台驱动方式	5轴优中心马达台
	移动范围
	X	0～150 mm	0～100 mm
	Y	0～150 mm	0～50 mm
	Z	3～85 mm	3～65 mm
	T	-20～90°
	R	360°
样品仓	样品尺寸	最大直径300 mm 最大样品高度130 mm	最大直径200 mm 最大样品高度80 mm